์ด ๋ฌธ์์ ์๋ณธ์ ์ธ๋ถ ์ํค์์ ๊ฐ์ ธ์์ต๋๋ค.
1. ์ด๋ฏธ์ง ์ผ์[ํธ์ง]
Charge-Coupled Device
์ ํ๊ฒฐํฉ์์
้ป่ท็ตๅ็ด ๅญ
์ ํ๊ฒฐํฉ์์
้ป่ท็ตๅ็ด ๅญ
1.1. ๊ฐ์[ํธ์ง]
CCD ์ผ์๋ ๋น์ ์ ํ๋ก ๋ณํ์์ผ ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ์ป์ด๋ด๋ ์ผ์์ด๋ค. CCD ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ ๊ณต๋ก๋ก ๊ฐ๋ฐ์์ธ ์๋ฌ๋ ๋ณด์ผ(Willard S. Boyle)๊ณผ ์กฐ์ง ์ค๋ฏธ์ค(George E. Smith)๋ 2006๋
์ฐฐ์ค ์คํํฌ ๋๋ ์ดํผ ๊ณตํ์์ ์์ํ๊ณ , 2009๋
๋
ธ๋ฒจ ๋ฌผ๋ฆฌํ์์ ์์ํ๋ค.
์๋ฐํ๊ฒ CCD๋ ๋ณด๋ค ๋์ ์๋ฏธ์์ ์ ํ๋ฅผ ์ด๋์ํค๋ ์์๋ก์, ์ฃผ๋ก ์์ ๋ด๋ถ์์ ์ ํ๋ฅผ ์กฐ์(๋์งํธํ ๋ฑ)ํ ์ ์๋ ์์ญ์ผ๋ก ์ฎ๊ธฐ๋ ์ญํ ์ ํ๋ค. CCD ์ผ์๋ ์ด CCD๋ฅผ ์์ฉํ์ฌ ๊ด๋ค์ด์ค๋๋ฅผ ์ด๋ง์ด๋งํ๊ฒ ๋ง์ด ๋ฐ์์ ๋น์ ์ ํ๋ก ์ ํ์์ผ ๊ทธ ์ ํ๋ฅผ ๋ค์ ๋์งํธํํ์ฌ ๋์งํธ ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ์ป์ ์ ์๊ฒ ํ๋ ์ผ์๋ฅผ ๋งํ๋ค.
๊ทธ๋ฐ๋ฐ CCD๊ฐ ๋์งํธ ์นด๋ฉ๋ผ, ์ค์บ๋, ์บ ์ฝ๋์ ๊ฐ์ ์์ ์ฅ์น์ ์ดฌ์์์๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ CCD ์ผ์์ ๊ฐ์ฅ ๋ง์ด ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๊ณ ์ฐ์ ์ ํ์ฉ๋๋ ์๋ ๋๋ค ๋ณด๋ ์์ฒ๊ธฐ์ ์ธ CCD๋ณด๋ค CCD๋ก ๋ง๋ ์ดฌ์์์์ธ CCD ์ผ์๊ฐ CCD๋ฅผ ๋ํํ๋ ์ฉ์ด๊ฐ ๋์ด๋ฒ๋ ธ๋ค. ๋ค๋ง ์ต๊ทผ์๋ ์ดฌ์์์ ์ฉ์ผ๋ก CMOS ์ผ์๊ฐ ๋ ๋ง์ด ํ์ฌ๋๊ณ ์๋ค. 2010๋ ์ดํ์ ์ดฌ์์ฅ๋น์ ๊ฑฐ์ ๋๋ถ๋ถ CCD๊ฐ ์๋ CMOS๊ฐ ๋ค์ด๊ฐ๊ณ ์๋ค๊ณ ๋ณด๋ฉด ๋๋ค.
์ฒ๋ฌธํ ๋ถ์ผ์์ ๋๊ฐ CCD๋ ์ฒ๋ฌธ ๊ด์ธก ๋๊ตฌ ์ค ๋ํ์ ์ผ๋ก ๊ผฝํ๋ ๋ฌผ๊ฑด.
์๋ฐํ๊ฒ CCD๋ ๋ณด๋ค ๋์ ์๋ฏธ์์ ์ ํ๋ฅผ ์ด๋์ํค๋ ์์๋ก์, ์ฃผ๋ก ์์ ๋ด๋ถ์์ ์ ํ๋ฅผ ์กฐ์(๋์งํธํ ๋ฑ)ํ ์ ์๋ ์์ญ์ผ๋ก ์ฎ๊ธฐ๋ ์ญํ ์ ํ๋ค. CCD ์ผ์๋ ์ด CCD๋ฅผ ์์ฉํ์ฌ ๊ด๋ค์ด์ค๋๋ฅผ ์ด๋ง์ด๋งํ๊ฒ ๋ง์ด ๋ฐ์์ ๋น์ ์ ํ๋ก ์ ํ์์ผ ๊ทธ ์ ํ๋ฅผ ๋ค์ ๋์งํธํํ์ฌ ๋์งํธ ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ์ป์ ์ ์๊ฒ ํ๋ ์ผ์๋ฅผ ๋งํ๋ค.
๊ทธ๋ฐ๋ฐ CCD๊ฐ ๋์งํธ ์นด๋ฉ๋ผ, ์ค์บ๋, ์บ ์ฝ๋์ ๊ฐ์ ์์ ์ฅ์น์ ์ดฌ์์์๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ CCD ์ผ์์ ๊ฐ์ฅ ๋ง์ด ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์๊ณ ์ฐ์ ์ ํ์ฉ๋๋ ์๋ ๋๋ค ๋ณด๋ ์์ฒ๊ธฐ์ ์ธ CCD๋ณด๋ค CCD๋ก ๋ง๋ ์ดฌ์์์์ธ CCD ์ผ์๊ฐ CCD๋ฅผ ๋ํํ๋ ์ฉ์ด๊ฐ ๋์ด๋ฒ๋ ธ๋ค. ๋ค๋ง ์ต๊ทผ์๋ ์ดฌ์์์ ์ฉ์ผ๋ก CMOS ์ผ์๊ฐ ๋ ๋ง์ด ํ์ฌ๋๊ณ ์๋ค. 2010๋ ์ดํ์ ์ดฌ์์ฅ๋น์ ๊ฑฐ์ ๋๋ถ๋ถ CCD๊ฐ ์๋ CMOS๊ฐ ๋ค์ด๊ฐ๊ณ ์๋ค๊ณ ๋ณด๋ฉด ๋๋ค.
์ฒ๋ฌธํ ๋ถ์ผ์์ ๋๊ฐ CCD๋ ์ฒ๋ฌธ ๊ด์ธก ๋๊ตฌ ์ค ๋ํ์ ์ผ๋ก ๊ผฝํ๋ ๋ฌผ๊ฑด.
1.2. ์ญ์ฌ[ํธ์ง]
1969๋
AT&T ๋ฒจ ์ฐ๊ตฌ์์ ์๋ฌ๋ ๋ณด์ผ(Willard S. Boyle)๊ณผ ์กฐ์ง ์ค๋ฏธ์ค(George E. Smith)๊ฐ ์ธ๊ณ ์ต์ด๋ก ๋์งํธ ์ผ์๋ฅผ ์ด์ฉํ ์ ํ์ ๋ฌ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ์๋ค. ๋์งํธ ์ผ์ ๋ถ๋ถ์ ๊ด๋ค์ด์ค๋๋ฅผ ์ด์ฉํ ๊ด์ผ์๋ฅผ ๋ฌ๋ฉด ๋น์ ์ ๊ธฐ์ ํธ๋ก ์ ํํ ์ ์๊ฒ ๋ ๊ฒ์ด๋ค. ์ฆ, CCD ์ผ์๊ฐ ์๋๋ผ ๊ทธ ์๋ฆฌ๊ฐ ๋๋ ์์ฒ๊ธฐ์ ์ธ CCD๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ ๊ฒ์ด ์ด๋ค์ ๊ณต์ด๋ค. ์ด๋ค์ ๋ณธ๋ Shift register๋ก ์ฌ์ฉ๋ ์ ์๋ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฒ๋ธ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ์์๋๋ฐ, ํต์ฌ ์๋ฆฌ๊ฐ ๋ฐ๋์ฒด ํ๋ฉด์ ์ ํ๋ฅผ ํ๋์ ์ ์ฅ ์ปคํจ์ํฐ(์ถ์ ๊ธฐ)๋ก๋ถํฐ ๋ค์ ์ ์ฅ ์ปคํจ์ํฐ๋ก ์ ๋ฌํ๋ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ฒ๋ธ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ๋ ์ด๋ค์ด ์ง์ ๋ถ์ธ ์ด๋ฆ์ด๋ค. "์๊ธฐ์ ๊ฑฐํ(magnetic bubbles)"์ ๋ฐ์ดํฐ๋ฅผ ์ ์ฅํ ์ ์๋ ์์๋ค.
CCD ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ ์ดํ ์ด๋ฅผ ์์ฉํ ์ด๋ฏธ์ง ๊ธฐ์ ์ญ์ ๋น ๋ฅธ ์๋๋ก ๊ฐ๋ฐ๋์๋ค. 1971๋ ์๋ ๋ฒจ ์ฐ๊ตฌ์์ ๋ง์ดํด ํฐ์ ์ด ์ด๋๋ ํ์ด ์์์ ์บก์ฒํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ๊ณ , CCD ๊ธฐ์ ์ ์์์ ์์ฉํ ๊ธฐ์ ๋ก ๋ง์ดํด ํฐ์ ์ด ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์๋ค. ์ดํ ํ์ด์ฐจ์ผ๋์ RCA, ํ ์ฌ์ค ์ธ์คํธ๋ฃจ๋จผํธ ๋ฑ์ด ๊ฐ๋ฐ์ ๋ฐ์ด๋ค์๋๋ฐ ๊ทธ ์ค ์ ์ง ๋ฒจ ์ฐ๊ตฌ์ ์ฐ๊ตฌ์์ธ ๊ธธ ์๋ฉ๋ฆฌ์ค[1]๊ฐ ์ด๋๋ ํ์ด์ฐจ์ผ๋ ํ์ด ๊ฐ์ฅ ๋จผ์ CCD ์์๋ฅผ ์์ฉํํ์ฌ 1974๋ ์๋ 2D 100 x 100 pixel์ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๊ธฐ์ ์ด๋ฅด๋ ๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ 1975๋ ์ฝ๋ฅ์์ ์ผํ๋ ์คํฐ๋ธ ์์ ์ด ์ด ์์๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ธ๊ณ ์ต์ด๋ก ๋์งํธ ์นด๋ฉ๋ผ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๋ค. ์๋์ ๊ฐ์ฆ์ค ์ด์๋ง๋ ์๋์ ์บ ์ฝ๋์ ์ฌ์ฉ๋ CCD๋ฅผ ๋๋์์ฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ๋ค.
ํํธ, ์นด์ด์คํธ ์ ๊ธฐ์ ์๊ณตํ๊ณผ ๊น์ถฉ๊ธฐ ๊ต์๋ ๋น์ ํ์ด์ฐจ์ผ๋์ CCD ์์ ์์ฉํ ๊ฐ๋ฐํ์ ์ผ์์ด์๋ค. ์ด ๊ณต์ผ๋ก ๊ฐ์ข ์์ ์์ํ๊ณ ์นด์ด์คํธ ํนํ๊ต์๋ก ์๋ช ๋์๋ค. ๋ค๋ง, ๋ํ๋ฏผ๊ตญ์ CCD ๊ฐ๋ฐ ์ธ๋ ฅ์ ๋ณด์ ํ๊ณ ์์์๋ CCD๋ฅผ ๋๋ ์์ฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ด ์์ด CCD ์ ๋์ ๋ฏธ๊ตญ์ด๋ ์ผ๋ณธ์์ ์์ ํ๊ณ ์๋ ์ค์ ์ด๋ค.
CCD ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ ์ดํ ์ด๋ฅผ ์์ฉํ ์ด๋ฏธ์ง ๊ธฐ์ ์ญ์ ๋น ๋ฅธ ์๋๋ก ๊ฐ๋ฐ๋์๋ค. 1971๋ ์๋ ๋ฒจ ์ฐ๊ตฌ์์ ๋ง์ดํด ํฐ์ ์ด ์ด๋๋ ํ์ด ์์์ ์บก์ฒํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ๊ณ , CCD ๊ธฐ์ ์ ์์์ ์์ฉํ ๊ธฐ์ ๋ก ๋ง์ดํด ํฐ์ ์ด ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์๋ค. ์ดํ ํ์ด์ฐจ์ผ๋์ RCA, ํ ์ฌ์ค ์ธ์คํธ๋ฃจ๋จผํธ ๋ฑ์ด ๊ฐ๋ฐ์ ๋ฐ์ด๋ค์๋๋ฐ ๊ทธ ์ค ์ ์ง ๋ฒจ ์ฐ๊ตฌ์ ์ฐ๊ตฌ์์ธ ๊ธธ ์๋ฉ๋ฆฌ์ค[1]๊ฐ ์ด๋๋ ํ์ด์ฐจ์ผ๋ ํ์ด ๊ฐ์ฅ ๋จผ์ CCD ์์๋ฅผ ์์ฉํํ์ฌ 1974๋ ์๋ 2D 100 x 100 pixel์ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๊ธฐ์ ์ด๋ฅด๋ ๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ 1975๋ ์ฝ๋ฅ์์ ์ผํ๋ ์คํฐ๋ธ ์์ ์ด ์ด ์์๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ธ๊ณ ์ต์ด๋ก ๋์งํธ ์นด๋ฉ๋ผ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๋ค. ์๋์ ๊ฐ์ฆ์ค ์ด์๋ง๋ ์๋์ ์บ ์ฝ๋์ ์ฌ์ฉ๋ CCD๋ฅผ ๋๋์์ฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ๋ ๋ฐ ์ฑ๊ณตํ๋ค.
ํํธ, ์นด์ด์คํธ ์ ๊ธฐ์ ์๊ณตํ๊ณผ ๊น์ถฉ๊ธฐ ๊ต์๋ ๋น์ ํ์ด์ฐจ์ผ๋์ CCD ์์ ์์ฉํ ๊ฐ๋ฐํ์ ์ผ์์ด์๋ค. ์ด ๊ณต์ผ๋ก ๊ฐ์ข ์์ ์์ํ๊ณ ์นด์ด์คํธ ํนํ๊ต์๋ก ์๋ช ๋์๋ค. ๋ค๋ง, ๋ํ๋ฏผ๊ตญ์ CCD ๊ฐ๋ฐ ์ธ๋ ฅ์ ๋ณด์ ํ๊ณ ์์์๋ CCD๋ฅผ ๋๋ ์์ฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ด ์์ด CCD ์ ๋์ ๋ฏธ๊ตญ์ด๋ ์ผ๋ณธ์์ ์์ ํ๊ณ ์๋ ์ค์ ์ด๋ค.
1.3. ์๋ฆฌ[ํธ์ง]
ํ ๊ตฌ์ญ์ ์ ์ฅ๋ ์ ํ(Charge)๋ฅผ ๋ค๋ฅธ ๊ตฌ์ญ์ผ๋ก ์ด๋(๊ฒฐํฉ: Coupling)์ํค๋ ์ฑ์ง์ ๊ฐ์ก๊ธฐ ๋๋ฌธ์ Charge-Couple Device๋ผ๋ ์ด๋ฆ์ ๋ถ์๋ค. ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ MOS(Metal-Oxide-Silicon) ์ถ์ ๊ธฐ๋ค๋ก๋ถํฐ ์ ํ๋ฅผ ๋ฐ์๋ค์ฌ ํ ๊ฐ ๋๋ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ ๋
ธ๋๋ก ์ ํธ๋ฅผ ๋ด๋ณด๋ธ๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก Oxidization ๊ณต์ ์ ํตํด ์ถ์ ์ง๋ฅผ ํ์ฑํ์ฌ ๋น์ผ๋ก ์ธํ์ฌ ์์ฑ๋ ์ ํ๋ฅผ Depletion Region์ ํตํด ๋ชจ์๋ค. ์ ํ์ ์ด๋์ ์ ์ ์ ํธ๋ก ๋ฐ๋์ด ๋ฒํผ(์ ์ฅ)๋๊ณ ์๋ ๋ก๊ทธ ์ ์ ํํ๋ก ์ ๋ฌ๋ ์ ํธ๋ ๋์ค์ ๋์งํธ๋ก ๋ณํ์ํจ๋ค.
ํฌ๊ฒ FT(Frame Transfer) ๋ฐฉ์๊ณผ IT(Interline Transfer) ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋๋ ์ ์๋ค. FT-CCD๋ ๊ด์์๋ค์ด ์ ํ๋ฅผ ์๋ก ๊ฑด๋ค์ฃผ๋ ๋ ์ง์คํฐ์ธ ๊ฒ์ ๋นํ์ฌ IT-CCD๋ ๊ด์์๋ค์ด ์ค ์ ํ๋ฅผ ๋ ์ง์คํฐ์ ๋๊ฒจ์ฃผ๊ณ ๋ ์ง์คํฐ๊ฐ ์ ํ๋ฅผ ์ ๋ฌํ๋ค๋ ์ฐจ์ด์ ์ด ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ ์ฒด ๋ฉด์ ์ค์์ ์ผ๋ถ๋ถ๋ง ๋น์ ๋ฐ์๋ค์ด๊ฒ ๋๋ค.
CCD๋ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ MOS(Metal-Oxide-Silicon) ์ถ์ ๊ธฐ๊ฐ ์์ผ๋ก ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ๋์ด ์๋ ํ๋ก๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ ธ ์์ผ๋ฉฐ, ์ ํธ๋ฅผ ์ฝ์ด๋ผ ๋์๋ ๊ฐ ์ถ์ ์ง๋ค์ด ์ด์ํ ์ถ์ ์ง๋ก ์ ํ๋ฅผ ์ฎ๊ธฐ๋ ๋ฐฉ์(๋ง์น ์๋ฆฌ์ผ ํต์ ๊ณผ ๋น์ท)์ผ๋ก ์ด๋ฏธ์ง์์ ์ฝ์ด๋ธ ์ ํ๋ฅผ ์ ๋ฌํ๋ค.
MOS ์ถ์ ๊ธฐ๋ฅผ ๋ง๋ค ๋, ์ต๊ทผ์๋ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๋ฐฉ์(CZ ๋ฑ)์ผ๋ก ์์ฐํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฒฐ์ ์ ์ด์ฉํ๊ธฐ๋ณด๋ค๋ ์ํผํ ์ ๊ธฐ๋ฒ(epitaxy)์ ํตํด ์ ํญ์ด ๋ ๋์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฒฐ์ ์ ์ ์ํ์ฌ ์ฌ์ฉํ๋ค. ์ ์ฃผํ์(๋ถ์ ๋น ๋ฐ ๊ทธ ์๋ ์์ญ)์์๋ ๋น์ด ๋ ๊น์ด ํฌ๊ณผํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก MOS ์ถ์ ๊ธฐ์ ๊ณตํ์ธต(Depletion Region)๋ณด๋ค ๋ ๊น์ ๊ณณ์์ ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด(carrier)๋ก์จ ์ ์ ์ ๊ณต ์(Electron-Hole Pair)์ ์์ฑํ๊ฒ ๋์ด ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ ํ๋ฅผ ๋ชจ์ ์ ์๋ ์ผ์ด ๋ฐ์ํ๋ค. ์ ์ ์ ๊ณต ์์ด ์์ฑ๋๋ฉด ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ํด ์ ํ๋ฅผ ๋ค ์ ์๋ก์จ ์ธ๋ ฅ(๋ก๋ ์ธ ํ)์ ๋ฐ์ ์ด๋ํ๊ฑฐ๋(Drift), ์์ฐ์ ์ผ๋ก ๋ธ๋ผ์ด ์ด๋์ ํ๋ฉฐ ํ์ฐ(Diffusion)์ ํ๊ฒ ๋๋๋ฐ[2], ๊ณตํ์ธต ๋ด๋ถ์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์บ๋ฆฌ์ด์ ํ์ฐ์ด ํฐ ์ญํ ์ ์ํํ์ง ๋ชปํ๋ ๊ทธ ์ด์ธ ์ง์ญ์์๋ ํ์ฐ๋ง ์ผ์ด๋์ ๊ฒฐ๊ตญ ์ ์จ ์์ฑํ ์ ์ ์ ๊ณต ์์ด ์ฌ๊ฒฐํฉ(Recombination) ๋ฑ์ผ๋ก ์ฌ๋ผ์ ธ ๋ฒ๋ฆฌ๊ฑฐ๋, ํ ํฝ์ ๋ก ์ฎ๊ฒจ๊ฐ๋ ์์ตํ ํ์์ด ์ผ์ด๋๊ฒ ๋๋ค. ์ํผํ ์ ๊ธฐ๋ฒ์ ํตํด ๋ง๋ค์ด์ง ๋งค์ฐ ์๊ณ ์ ํญ์ด ํฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ ๋๊ป๋ก ์ธํด ๊ฑฐ์ ๋๋ถ๋ถ์ ๊ณตํ์ธต์ด ํ์ฑ๋๊ฒ ๋๊ณ , ์ด๊ณณ์ ์์ฑ๋๋ ์ ์ ์ ๊ณต ์์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ํฅ์ ๋ ๋ง์ด ๋ฐ์ผ๋ฏ๋ก ์์ฐํ MOS ์ถ์ ๊ธฐ๋ก ์์ด๊ฒ ๋๋ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ฌผ๋ก ์ ํญ์ด ํฐ ๊ฒ์ ํ์ฐ๊ธธ์ด(Diffusion Length)๋ฅผ ์ค์ด๊ธฐ๋ ํ๋ค. ์ด๋ฅผ Deep Depletion CCD๋ผ ํ๋ค.
ํฌ๊ฒ FT(Frame Transfer) ๋ฐฉ์๊ณผ IT(Interline Transfer) ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋๋ ์ ์๋ค. FT-CCD๋ ๊ด์์๋ค์ด ์ ํ๋ฅผ ์๋ก ๊ฑด๋ค์ฃผ๋ ๋ ์ง์คํฐ์ธ ๊ฒ์ ๋นํ์ฌ IT-CCD๋ ๊ด์์๋ค์ด ์ค ์ ํ๋ฅผ ๋ ์ง์คํฐ์ ๋๊ฒจ์ฃผ๊ณ ๋ ์ง์คํฐ๊ฐ ์ ํ๋ฅผ ์ ๋ฌํ๋ค๋ ์ฐจ์ด์ ์ด ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ ์ฒด ๋ฉด์ ์ค์์ ์ผ๋ถ๋ถ๋ง ๋น์ ๋ฐ์๋ค์ด๊ฒ ๋๋ค.
CCD๋ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ MOS(Metal-Oxide-Silicon) ์ถ์ ๊ธฐ๊ฐ ์์ผ๋ก ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ๋์ด ์๋ ํ๋ก๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ ธ ์์ผ๋ฉฐ, ์ ํธ๋ฅผ ์ฝ์ด๋ผ ๋์๋ ๊ฐ ์ถ์ ์ง๋ค์ด ์ด์ํ ์ถ์ ์ง๋ก ์ ํ๋ฅผ ์ฎ๊ธฐ๋ ๋ฐฉ์(๋ง์น ์๋ฆฌ์ผ ํต์ ๊ณผ ๋น์ท)์ผ๋ก ์ด๋ฏธ์ง์์ ์ฝ์ด๋ธ ์ ํ๋ฅผ ์ ๋ฌํ๋ค.
MOS ์ถ์ ๊ธฐ๋ฅผ ๋ง๋ค ๋, ์ต๊ทผ์๋ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๋ฐฉ์(CZ ๋ฑ)์ผ๋ก ์์ฐํ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฒฐ์ ์ ์ด์ฉํ๊ธฐ๋ณด๋ค๋ ์ํผํ ์ ๊ธฐ๋ฒ(epitaxy)์ ํตํด ์ ํญ์ด ๋ ๋์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ฒฐ์ ์ ์ ์ํ์ฌ ์ฌ์ฉํ๋ค. ์ ์ฃผํ์(๋ถ์ ๋น ๋ฐ ๊ทธ ์๋ ์์ญ)์์๋ ๋น์ด ๋ ๊น์ด ํฌ๊ณผํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก MOS ์ถ์ ๊ธฐ์ ๊ณตํ์ธต(Depletion Region)๋ณด๋ค ๋ ๊น์ ๊ณณ์์ ์ ํ ์บ๋ฆฌ์ด(carrier)๋ก์จ ์ ์ ์ ๊ณต ์(Electron-Hole Pair)์ ์์ฑํ๊ฒ ๋์ด ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ ํ๋ฅผ ๋ชจ์ ์ ์๋ ์ผ์ด ๋ฐ์ํ๋ค. ์ ์ ์ ๊ณต ์์ด ์์ฑ๋๋ฉด ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ํด ์ ํ๋ฅผ ๋ค ์ ์๋ก์จ ์ธ๋ ฅ(๋ก๋ ์ธ ํ)์ ๋ฐ์ ์ด๋ํ๊ฑฐ๋(Drift), ์์ฐ์ ์ผ๋ก ๋ธ๋ผ์ด ์ด๋์ ํ๋ฉฐ ํ์ฐ(Diffusion)์ ํ๊ฒ ๋๋๋ฐ[2], ๊ณตํ์ธต ๋ด๋ถ์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์บ๋ฆฌ์ด์ ํ์ฐ์ด ํฐ ์ญํ ์ ์ํํ์ง ๋ชปํ๋ ๊ทธ ์ด์ธ ์ง์ญ์์๋ ํ์ฐ๋ง ์ผ์ด๋์ ๊ฒฐ๊ตญ ์ ์จ ์์ฑํ ์ ์ ์ ๊ณต ์์ด ์ฌ๊ฒฐํฉ(Recombination) ๋ฑ์ผ๋ก ์ฌ๋ผ์ ธ ๋ฒ๋ฆฌ๊ฑฐ๋, ํ ํฝ์ ๋ก ์ฎ๊ฒจ๊ฐ๋ ์์ตํ ํ์์ด ์ผ์ด๋๊ฒ ๋๋ค. ์ํผํ ์ ๊ธฐ๋ฒ์ ํตํด ๋ง๋ค์ด์ง ๋งค์ฐ ์๊ณ ์ ํญ์ด ํฐ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์์ ๋๊ป๋ก ์ธํด ๊ฑฐ์ ๋๋ถ๋ถ์ ๊ณตํ์ธต์ด ํ์ฑ๋๊ฒ ๋๊ณ , ์ด๊ณณ์ ์์ฑ๋๋ ์ ์ ์ ๊ณต ์์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ํฅ์ ๋ ๋ง์ด ๋ฐ์ผ๋ฏ๋ก ์์ฐํ MOS ์ถ์ ๊ธฐ๋ก ์์ด๊ฒ ๋๋ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ฌผ๋ก ์ ํญ์ด ํฐ ๊ฒ์ ํ์ฐ๊ธธ์ด(Diffusion Length)๋ฅผ ์ค์ด๊ธฐ๋ ํ๋ค. ์ด๋ฅผ Deep Depletion CCD๋ผ ํ๋ค.
2. ๊ตฐ์ง๋ถ๊ดดํ์[ํธ์ง]
๊ตฐ์ง๋ถ๊ดดํ์(Colony Collapse Disorder). ํญ๋ชฉ ์ฐธ์กฐ.
3. City Car Driving์ ์ฝ์[ํธ์ง]
ํญ๋ชฉ ์ฐธ์กฐ.
4. Contemporary Christian Dance์ ์ฝ์[ํธ์ง]
Contemporary Christian Dance
CCM(์์ )์ ์ฝ์์์ music์ dance๋ก ๋ฐ๊พธ๋ฉด ๋๊ฐ๋ค. ์ญ์ ๋ป๋ ๋ฐ๋ ๊ธ์๋ง ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ฐ, ํ๋์ ๊ธฐ๋ ๊ต ๋์ค์ ๋๋ก ํด์ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ ์ฃผ๋ก ๋น ๋ฅธ ccm์ ํ๋์ ์ธ ์ถค์ ์ถ๋ค. ๋๊ฐ ๊ตํ์์ ์ค๊ณ ๋ฑ๋ถ๋ ๋ํ๋ถ, ์ฒญ๋ ๋ถ๋ค์ด ์์ฃผ ์ค๋นํ์ฌ ๊ณต์ฐ์ ํ๋ค.
CCM(์์ )์ ์ฝ์์์ music์ dance๋ก ๋ฐ๊พธ๋ฉด ๋๊ฐ๋ค. ์ญ์ ๋ป๋ ๋ฐ๋ ๊ธ์๋ง ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ฐ, ํ๋์ ๊ธฐ๋ ๊ต ๋์ค์ ๋๋ก ํด์ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ ์ฃผ๋ก ๋น ๋ฅธ ccm์ ํ๋์ ์ธ ์ถค์ ์ถ๋ค. ๋๊ฐ ๊ตํ์์ ์ค๊ณ ๋ฑ๋ถ๋ ๋ํ๋ถ, ์ฒญ๋ ๋ถ๋ค์ด ์์ฃผ ์ค๋นํ์ฌ ๊ณต์ฐ์ ํ๋ค.
[1] ์ ํ์ ์ญ์ฌ๋ฅผ ์ข ์๋ ์ฌ๋๋ค์ ๋์น์ฑ๊ฒ ์ง๋ง ์คํฐ๋ธ ์ก์ค๋ฅผ ์ ํ๋ก ๋ค์ ๋ถ๋ฌ์จ ์ ํ์ ์ CEO ๋ฐ๋ก ๊ทธ ์ฌ๋์ด๋ค.
[2] ์ฌ์ค, ๋ ๊ฐ์ง ๋์์ ์ผ์ด๋๋ค.