์ด ๋ฌธ์„œ์˜ ์›๋ณธ์€ ์™ธ๋ถ€ ์œ„ํ‚ค์—์„œ ๊ฐ€์ ธ์™”์Šต๋‹ˆ๋‹ค.
X-ray์—์„œ ๋„˜์–ด์˜ด
1. ๊ฐœ์š”2. ์ƒ์„ธ3. ๋ฐœ๊ฒฌ4. ์ƒ์„ฑ
4.1. X์„  ๊ด€(X-ray tube)์„ ์ด์šฉํ•œ ์ƒ์„ฑ4.2. ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ๋ฐœ์ƒ
4.2.1. 1์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ4.2.2. 2์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ - ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ4.2.3. 3์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ - Undulator์™€ Wiggler4.2.4. 4์„ธ๋Œ€ ๊ฐ€์†๊ธฐ
5. ์šฉ๋„6. ์ธ์ฒด์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ7. ๊ธฐํƒ€


X์„ ์œผ๋กœ ์ดฌ์˜ํ•œ ์†

1. ๊ฐœ์š”[ํŽธ์ง‘]

๊ฐ•ํ•œ ๋ณต์‚ฌ์„ (์ „์ž๊ธฐํŒŒ)์ด ๋ฐฉ์ถœ๋˜๋Š”๋ฐ, ์ด ๋ณต์‚ฌ์„ ์„ X์„ ์ด๋ผ๊ณ  ํ•œ๋‹ค. ๋ขดํŠธ๊ฒ์ด ๋ฐœ๊ฒฌํ–ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•˜์—ฌ ๋ขดํŠธ๊ฒ์„ ์ด๋ผ๊ณ ๋„ ๋ถ€๋ฅธ๋‹ค.

ํŒŒ์žฅ์€ 10 ~ 0.01๋‚˜๋…ธ๋ฏธํ„ฐ์ด๋ฉฐ, ์ฃผํŒŒ์ˆ˜๋Š” 30 ํŽ˜ํƒ€ํ—ค๋ฅด์ธ  ~ 120 ์—‘์‚ฌํ—ค๋ฅด์ธ [1] ์ „์ž๊ธฐํŒŒ์˜ ํ˜•ํƒœ๋ฅผ ๋งํ•œ๋‹ค. ์ด๋Š” ์ž์™ธ์„ ๋ณด๋‹ค ์งง์€ ํŒŒ์žฅ์˜ ์˜์—ญ์ด๊ณ , ๊ฐ๋งˆ์„ ๋ณด๋‹ค ๊ธด ํŒŒ์žฅ์˜ ์˜์—ญ์— ์†ํ•œ๋‹ค.

2. ์ƒ์„ธ[ํŽธ์ง‘]

X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์„ ํŒŒ์žฅ์˜ ๊ธธ์ด[2]๋กœ ๊ตฌ๋ณ„ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์€ ์‚ฌ์‹ค์ƒ ์–ด๋ ต๋‹ค๊ธฐ๋ณด๋‹จ ์˜๋ฏธ๊ฐ€ ์—†๋‹ค. X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์€ ์—๋„ˆ์ง€๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ๋ผ ๋ฐœ์ƒ ์›์ธ์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ณ„ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ๋ฟ์ด๋‹ค. ์œ„์—๋„ ์ผ๋“ฏ์ด ๊ฒน์น˜๋Š” ์˜์—ญ์ด ์žˆ๋‹ค. ๋” ์‰ฝ๊ฒŒ ๋งํ•˜์ž๋ฉด, ๋‚ฎ์€ ์—๋„ˆ์ง€์˜ ๊ฐ๋งˆ์„ ๋„ ์žˆ๊ณ , ๋งˆ์Œ๋งŒ ๋จน์œผ๋ฉด ๋ฉ”๊ฐ€์ „์ž๋ณผํŠธ(MeV) ๋‹จ์œ„์˜ X์„ ๋„ ๋‚ผ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์„ ๊ตฌ๋ณ„ํ•˜๋Š” ์ค‘์š”ํ•œ ์ฐจ์ด๋Š” ๋ฐœ์ƒ์›์— ์˜ํ•œ ์ฐจ์ด์ด๋ฉฐ, ์—๋„ˆ์ง€ ๋ถ„ํฌ๊ฐ€ ์–ด๋– ํ•œ๊ฐ€์— ๋”ฐ๋ผ์„œ๋„ ๊ตฌ๋ณ„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.[3]

์—ฌ๊ธฐ์„œ ์งš๊ณ  ๋„˜์–ด๊ฐ€์•ผ ํ•  ์ ์€ ์ „์ž๊ธฐํŒŒ์˜ ํŒŒ์žฅ๋ณ„ ๋ถ„๋ฅ˜๋Š” ๋‹จ์ˆœํžˆ ์ž„์˜์ ์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ถ„๋œ ๊ฒƒ์ผ ๋ฟ์ด๋ฉฐ, ๋ง๊ทธ๋Œ€๋กœ ํŒŒ์žฅ์˜ ๊ธธ์ด(๋ฐ”๊ฟ” ๋งํ•˜๋ฉด ์—๋„ˆ์ง€ ํ˜น์€ ์ง„๋™์ˆ˜)๊ฐ€ ๋‹ค๋ฅด๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ ์™ธ์—๋Š” ๋ณธ์งˆ์ ์œผ๋กœ ์•„๋ฌด๋Ÿฐ ์ฐจ์ด๋„ ์—†๋‹ค๋Š” ์‚ฌ์‹ค์ด๋‹ค. ์ฆ‰, ํ”ํžˆ๋“ค ํ•˜๋Š” ์ฐฉ๊ฐ๊ณผ๋Š” ๋‹ฌ๋ฆฌ X์„ ์ด๋ผ๊ณ  ํŠน์ถœ๋‚œ ๋‹ค๋ฅธ ๋ญ”๊ฐ€๊ฐ€ ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์€ ์•„๋‹ˆ๋‹ค. ํŒŒ๋™์ž„์— ์˜์‹ฌ์˜ ์—ฌ์ง€๊ฐ€ ์—†๋Š” ์ „ํŒŒ์™€ ์•„๋ฌด๋ฆฌ ์‚ดํŽด๋ด๋„ ์ž…์ž์ฒ˜๋Ÿผ ๋ณด์ด๋Š” ๊ฐ๋งˆ์„ ์€ ๋ถ„๋ช…ํžˆ ๋‹ค๋ฅธ ๊ฒƒ์ฒ˜๋Ÿผ ๋ณด์—ฌ๋„ ๋ง์ด๋‹ค.[4]

ํŠนํžˆ X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—” ์‹ฌ์ง€์–ด ํŒŒ์žฅ์ด ๊ฒน์น˜๊ธฐ๊นŒ์ง€ ํ•˜๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์„ ๋ฐœ๊ฒฌํ•  ๋‹น์‹œ ์ด๋“ค์ด ์ „์ž๊ธฐํŒŒ์ธ ์ค„์กฐ์ฐจ ๋ชฐ๋ž๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค. X-ray๋ผ๋Š” ์ด๋ฆ„ ์ž์ฒด๋„, ์ผ๋‹จ ๋ฐœ๊ฒฌ์€ ํ–ˆ๋Š”๋ฐ ๊ทธ ์ •์ฒด๋ฅผ ์•Œ ์ˆ˜ ์—†์–ด์„œ ๋ฏธ์ง€์˜ x๋ฅผ ๋„ฃ์€ ๊ฒƒ์ด๋‹ˆ ๊ทธ ์ƒํ™ฉ์„ ์•Œ ๋งŒํ•˜๋‹ค. ๋‹น์‹œ ์‹œ๋Œ€๊ฐ€ ์–‘์ž์—ญํ•™์€ ์ปค๋…• ๋ฌผ์งˆํŒŒ ๊ฐ€์„ค์ด๋‚˜ ๊ด‘์ „ ํšจ๊ณผ๊ฐ€ ๋ฐœํ‘œ๋˜๊ธฐ ์ˆ˜์‹ญ ๋…„์ „์ด์—ˆ์œผ๋‹ˆ. ๊ฒฐ๋ก ์ ์œผ๋กœ ๋งํ•˜์ž๋ฉด, ๋˜‘๊ฐ™์€ ๊ฒƒ์„ ๋ช‡๋ช‡์˜ ์šฐ์—ฐ์ด ๊ฒน์ณ ๊ทธ์ € ๋‹ค๋ฅด๊ฒŒ ๋ช…๋ช…ํ•œ ๊ฒƒ๋ฟ์ด๋ผ๊ณ  ํ•ด๋„ ๊ณผ์–ธ์ด ์•„๋‹ ์ •๋„๋‹ค.[5]

์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ๋Ÿฌ๋”ํผ๋“œ๊ฐ€ ๋ฒ ํƒ€์„ ์˜ ์ •์ฒด๊ฐ€ ์ „์ž์ธ ์ค„ ์ฒ˜์Œ๋ถ€ํ„ฐ ์•Œ์•˜์œผ๋ฉด, ๋ฒ ํƒ€์„ ์ด๋ผ๊ณ  ๋ถ€๋ฅด์ง€ ์•Š๊ณ  ๊ทธ๋ƒฅ ์ „์ž๋ผ๊ณ  ๋ถˆ๋ €์„ ๊ฒƒ์ด๋‹ค. X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์ด ๋ฐœ๊ฒฌ ๋‹น์‹œ๋ถ€ํ„ฐ ์ „์ž๊ธฐ๋ณต์‚ฌ์ธ ์ค„ ์•Œ์•˜๋”๋ผ๋ฉด, ๊ทธ์ € ๊ฐ๊ฐ XXํŒŒ์žฅ ์˜์—ญ์˜ ์ „์ž๊ธฐํŒŒ ํ˜น์€ ์•„์˜ˆ ๋ญ‰๋šฑ๊ทธ๋ ค ๊ณ ์—๋„ˆ์ง€ ์ „์ž๊ธฐํŒŒ ํ˜น์€ ์ „๋ถ€ ๋‹ค ์ž์™ธ์„ ์ด๋ผ๊ณ  ๋ถˆ๋ ธ์„์ง€๋„ ๋ชจ๋ฅผ ์ผ์ด๋‹ค.[6] ์ด์ฒ˜๋Ÿผ ์ •์ฒด๋„ ์ž˜ ๋ชฐ๋ž๋˜ ์ฃผ์ œ์— X์„ ์€ ๋ฐœ๊ฒฌ๋œ ์ง€ ์–ผ๋งˆ ์ง€๋‚˜์ง€ ์•Š์•„ ๊ณง๋ฐ”๋กœ ํ™œ์šฉ๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ, ์ด์œ ๋Š” ํ˜„๋Œ€์™€ ๋‹ค๋ฅผ ๋ฐ” ์—†๋‹ค.

์ฃผ๋กœ ์ •ํ˜•์™ธ๊ณผ์—์„œ ๋ผˆ์˜ ์ด์ƒ์„ ํ™•์ธํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋งŽ์ด ์ด์šฉํ•˜๋ฉฐ, ๊ฒฐํ•ต ๊ฒ€์‚ฌ์™€ ๊ฐ™์ด ๋‚ด์žฅ์˜ ์ด์ƒ์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜๋„ ์žˆ๋‹ค. ๋ฌผ๋ก  ์ด๋Ÿฌํ•œ ๋ฐœ์ „์€ ๊ทธ๋™์•ˆ ์ˆ˜๋งŽ์€ ์˜ํ•™ ์„๋ฐ•์‚ฌ๋“ค์ด ์ˆ˜๋งŽ์€ X์„  ์‚ฌ์ง„์„ ๋ณด๊ณ  ์—ฐ๊ตฌํ•˜๋ฉด์„œ ๋‚˜์˜จ ๊ฒƒ์ž„์„ ์žŠ์ง€ ๋ง์ž. ์ด X์„ ์˜ ๋ฐœ๊ฒฌ ๋•์— ์˜๋ฃŒํ•™๊ณ„์— ์—„์ฒญ๋‚œ ์ƒˆ ๋ฐ”๋žŒ์ด ๋ถ„ ๊ฒƒ์€ ๋‘๋งํ•˜๋ฉด ์ž”์†Œ๋ฆฌ.

์˜์‚ฌ๋“ค ์‚ฌ์ด์—์„œ๋Š” X์„  ์‚ฌ์ง„๋ณด๋‹ค๋Š” ๋ขดํŠธ๊ฒ ์‚ฌ์ง„์ด๋ผ๊ณ  ๋” ๋งŽ์ด ๋ถˆ๋ฆฐ๋‹ค. ๋ฏธ๊ตญ๊ณผ ์ผ๋ณธ์—์„œ ๋งŽ์€ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฐ›์€ ๊ตญ๋‚ด ์˜ํ•™๊ณ„, ํŠนํžˆ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ํ•™์ด๋ผ๊ณ  ๋ถˆ๋ฆฌ๋Š” ์˜๋ฃŒ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๊ด€๋ จ ํ•™๋ฌธ์€ ์ผ๋ณธ์—์„œ ๋งŽ์€ ๋ฐœ์ „์ด ์žˆ์—ˆ์œผ๋ฉฐ ์ผ๋ณธ์—์„œ๋Š” ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ํ•™ ๋Œ€์‹ ์— ๋ขดํŠธ๊ฒ ํ•™์ด๋ผ๋Š” ์ด๋ฆ„์„ ๋งŽ์ด ์‚ฌ์šฉํ•œ๋‹ค. ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์„ ๋‹ค๋ฃจ๋Š” ํ•™๋ฌธ์—์„œ๋Š” ์œ ๋… ์ผ๋ณธ์—์„œ ์œ ๋ž˜ํ•œ ๋‹จ์–ด๊ฐ€ ๋งŽ์€ ๊ฒƒ๋„ ์ด ๋•Œ๋ฌธ. ์š”์ฆˆ์Œ์€ X์„ , X๋ ˆ์ด๋ผ๊ณ  ๋” ๋งŽ์ด ํ•˜์ง€๋งŒ ์•„์ง ์ผ๋ณธ์—์„œ ์œ ํ•™์„ ํ•˜๊ณ  ์˜จ ์‚ฌ๋žŒ์ด๋‚˜ ๊ทธ๋Ÿฐ ์Šค์Šน ํ˜น์€ ์ƒ๊ด€ ๋ฐ‘์—์„œ ์ˆ˜ํ•™ํ•œ ์˜์‚ฌ๋“ค์„ ์ค‘์‹ฌ์œผ๋กœ ๊ฐ„๊ฐ„์ด ์“ฐ์ธ๋‹ค.

3. ๋ฐœ๊ฒฌ[ํŽธ์ง‘]

1895๋…„ ๋ขดํŠธ๊ฒ์ด ํฌ๋ฃฉ์Šค๊ด€์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ๊ธฐ์ฒด์˜ ๋ฐฉ์ „ ํ˜„์ƒ์„ ์—ฐ๊ตฌํ•˜๊ณ  ์žˆ์„ ๋•Œ, ๋ฐ”๋ฅจ์„ ๋ฐ”๋ฅธ ๋งˆ๋ถ„์ง€๊ฐ€ ๋ฐœ๊ด‘ํ•˜๋Š” ๊ฑธ ๋ณด์•˜๊ณ , ์ด ํ˜„์ƒ์„ ์•Œ์•„๋ณด๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์ฑ…์„ ์ฐจํ๋ง‰์œผ๋กœ ์ผ๋‹ค๊ฐ€ ์ฑ… ์•ˆ์— ์ฑ…๊ฐˆํ”ผ๋กœ ๋ผ์›Œ๋†“์€ ์—ด์‡ ์™€ ์ฑ…์„ ๋“  ์ž๊ธฐ ์†๋ผˆ๊ฐ€ ํˆฌ๊ณผ๋˜์–ด ๋น„์น˜๋Š” ๊ฒƒ์„ ๋ณด๊ณ ๋Š” ์†Œ์Šค๋ผ์น˜๊ฒŒ ๋†€๋ผ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ฐœ๊ฒฌ๋˜์—ˆ๋‹ค. ์‹ ๊ฒฝ์ฆ์ ์ด๊ณ  ํŽธ์ง‘์ฆ์ ์ธ ์„ฑ๊ฒฉ์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์–ด ์ผ์‹œ์ ์ธ ํ˜„์ƒ์ด๋‚˜ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ๋ถ€์กฑํ•œ ํ˜„์ƒ์„ ๋ถ€์ •ํ•˜๋˜ ๋ขดํŠธ๊ฒ์€ ์ดํ›„ ๊ทธ๋•Œ๋ฅผ ํšŒ์ƒํ•˜๋ฉด์„œ ์ž์‹ ์ด ๋ฏธ์ณ ํ™˜๊ฐ์„ ๋ณด๋Š” ๊ฒŒ ์•„๋‹Œ๊ฐ€? ํ•˜๋ฉฐ ๋Š์ž„์—†์ด ์˜์‹ฌํ–ˆ๋‹ค๊ณ .

์ดํ›„ ์กฐ์ˆ˜๋“ค๋„ ๋‹ค ๋‚ด๋ณด๋‚ด๊ณ  ์ผ์ฃผ์ผ ๋™์•ˆ ์—ฐ๊ตฌ์‹ค์— ์ฒ˜๋ฐ•ํ˜€ ์ž์‹ ์ด ๋ฌด์—‡์„ ์‹ค์ˆ˜ํ–ˆ๋Š”๊ฐ€, ํ˜น ์ž์‹ ์ด ๋ฏธ์นœ ๊ฑฐ ์•„๋‹Œ๊ฐ€? ๋Š์ž„์—†์ด ๊ณ ๋‡Œํ•˜๊ณ  ์—ฐ๊ตฌํ•˜๋‹ค๊ฐ€, ์ดํ›„ ๋ถ€์ธ ๋ฒ ๋ฅดํƒ€๋ฅผ ์‹คํ—˜์‹ค๋กœ ๋ถˆ๋Ÿฌ์„œ ์Œ๊ทน์„ ๊ด€์—์„œ ๋‚˜์˜ค๋Š” ๋ˆˆ์— ๋ณด์ด์ง€ ์•Š๋Š” ์ด ๋น›์œผ๋กœ ๋ถ€์ธ์˜ ์† ์‚ฌ์ง„์„ ์ฐ์–ด ๊ฐ๊ด‘์ง€์— ๊ฐ๊ด‘ํ•จ์œผ๋กœ์จ, ์† ์•ˆ์— ์žˆ๋Š” ๋ผˆ๋Š” ๋ฌผ๋ก ์ด๊ณ  ์†๊ฐ€๋ฝ์— ๋ผ๊ณ  ์žˆ๋˜ ๋ฐ˜์ง€๋„ ์„ ๋ช…ํ•˜๊ฒŒ ์ฐํžˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ž์‹ ์ด ๋ฏธ์น˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค๋Š” ์‚ฌ์‹ค์„ ์•Œ๊ณ ๋Š” ๊ฒจ์šฐ ์•ˆ์‹ฌํ•˜๊ณ  ์ˆ˜์ฒ™ํ•ด์ง„ ๋ชจ์Šต์œผ๋กœ ํ•™๊ณ„์— ์ƒˆ๋กœ์šด ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ํ˜„์ƒ์„ ๋ฐœํ‘œํ–ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•œ๋‹ค.[7]

๋˜ํ•œ, ๋ฐฉ์ „๊ด€์— ์ˆ˜๋งŒ ๋ณผํŠธ ์ •๋„์˜ ์ „์••์„ ๊ฑธ๊ณ  ๋ฐ”๋ฅจ ์—ผ์„ ๊ด€ ๊ฐ€๊นŒ์ด ๊ฐ€์ ธ๊ฐ€๋ฉด ํ˜•๊ด‘์ด ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ๋„ ์•ž์„œ ๋ฐœ๊ฒฌ ์‹œ ์ผ์–ด๋‚œ ๋ฐ”๋ฅจ ๋งˆ๋ถ„์ง€ ๋ฐœ๊ด‘ํ˜„์ƒ์„ ํ†ตํ•ด ํ™•์ธ๋˜์—ˆ๋‹ค.

๋‹ค๋งŒ, ์ž์‹ ์ด ๋ฏธ์ณค์„์ง€๋„ ๋ชจ๋ฅธ๋‹ค๋Š” ์˜์‹ฌ์€ ์ฑ„ ๋–จ์น˜์ง€ ๋ชปํ•ด์„œ, ๋‹น์‹œ ๋ฐœํ‘œ ๋…ผ๋ฌธ์„ ๋ณด๋ฉด ๊ทธ ๋ชจ์Šต์„ ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.

4. ์ƒ์„ฑ[ํŽธ์ง‘]

๋ชจ๋“  ์ „์ž๊ธฐํŒŒ๊ฐ€ ๊ทธ๋ ‡๋“ฏ์ด ์ „ํ•˜๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๋ฌผ์งˆ์„ ๊ฐ€์†ํ•˜๋ฉด ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค. [8]

4.1. X์„  ๊ด€(X-ray tube)์„ ์ด์šฉํ•œ ์ƒ์„ฑ[ํŽธ์ง‘]

์ง„๊ณต๊ด€ ์•ˆ์ชฝ์— ๊ตฌ๋ฆฌ ์Œ๊ทน๊ณผ ํ……์Šคํ… ์–‘๊ทน์„ ๋งค์šฐ ๊ฐ€๊น๊ฒŒ ์„ค์น˜ํ•œ ๋’ค ๊ตฌ๋ฆฌ์— ์—ด์„ ๊ฐ€ํ•˜์—ฌ ์—ด์Œ๊ทน์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•œ๋‹ค. ์—ด ์Œ๊ทน์—์„œ ์ „์ž๊ฐ€ ๋ฐฉ์ถœ๋˜๋Š”๋ฐ, ์ด๋ฅผ ๊ณ ์ „์••ํ•„๋“œ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๊ฐ€์†ํ•ด ๋น ๋ฅธ ์†๋„๋กœ ํ……์Šคํ…์— ๋ถ€๋”ชํžˆ๋ฉด ํ……์Šคํ…์—์„œ X-์„ ์ด ๋‚˜์˜จ๋‹ค. ์ด๊ฒƒ์ด ์ตœ์†Œํ•œ์˜ ๊ตฌ์กฐ์ด๋ฉฐ, ๋ถ€๊ฐ€์ ์œผ๋กœ๋Š” ์ฝœ๋ฆฌ๋ฉ”์ดํ„ฐ, ์ฐจํ๋ฒฝ ๋“ฑ ๋” ๋ณต์žกํ•œ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„๋‹ค.

๊ธฐ๋ณธ์  ๊ตฌ์กฐ๋Š” CRT์™€ ๋น„์Šทํ•˜๋‹ค. ์ „์ž๋ฅผ ์ข€ ์„ธ๊ฒŒ ๋•Œ๋ ค์„œ ๊ทธ๋ ‡์ง€.

์ด ๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์ „์ž๋ฅผ ๊ฐ€์†ํ•ด ๋น ๋ฅธ ์†๋„๋กœ ํƒ€๊ฒŸ ๋ฌผ์งˆ์— ์ถฉ๋Œ์‹œํ‚ค๊ณ (1์ฐจ X์„  ๋ฐœ์ƒ: ์ผ๋ฐ˜ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋˜๋Š” ์ œ๋™ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ), ์ด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ์ „์ž๋ฅผ ์•ผ๊ธฐ ์‹œ์ผœ X์„ ์„ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚จ๋‹ค(2์ฐจ X์„  ๋ฐœ์ƒ: ํŠน์„ฑ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ). 1์ฐจ๋กœ ์ „์ž๊ฐ€ ํƒ€๊ฒŸ ๋ฌผ์งˆ์— ์ถฉ๋Œํ•˜๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” X์„ ์€ ๋ฌผ์งˆ ์ž์ฒด์— ์˜ํ•œ ๊ฒƒ์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ ์ „์ž๊ฐ€ ์ •์ง€ํ•˜๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ, ์ด๋ ‡๊ฒŒ ๋ฐœ์ƒํ•œ X์„ ์„ "bremsstrahlung(์ œ๋™๋ณต์‚ฌ์„ )"[9]์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค. ์ด ๋น›์€ ์ „์ž๊ฐ€ ๊ณ ์ „์ ์œผ๋กœ ์ •์ง€ํ•˜๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ–ˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ํŒŒ์žฅ๋Œ€๊ฐ€ ์•„์ฃผ ๋„“์€ ๊ฒƒ์ด ํŠน์ง•์ด๋‹ค. ํ›„์ž๋Š” "characteristic radiation(ํŠน์„ฑ๋ฐฉ์‚ฌ์„ )"์ด๋ผ ๋ถˆ๋ฆฌ๋Š”๋ฐ, ์›์žํ•ต ๋ ˆ๋ฒจ์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์€ ์•„๋‹ˆ๊ณ  ์ „์ž๊ฐ(์ „์ž๊ป์งˆ)์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ๋น›์œผ๋กœ, ๋ฌผ์งˆ์— ๋”ฐ๋ผ ํŠน์ • ํŒŒ์žฅ์˜ ๊ฐ’์„ ๊ฐ€์ง€๋Š” ์„ผ ๋น›์ด ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค. ์กฐ๊ธˆ ๋” ์ž์„ธํžˆ ์„ค๋ช…ํ•˜์ž๋ฉด, ์›์ž ๋‚ด ์ „์ž๋Š” ํŠน์ • ์ „์ž๊ป์งˆ ๋‚ด์— ์†ํ•˜๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. ์ฆ‰, ์ „์ž๋Š” ์ž„์˜์˜ ์œ„์น˜ ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ๊ฐ€์งˆ ์ˆ˜ ์—†๊ณ  ์ „์ž๊ป์งˆ์— ์˜ํ•ด ์ •์˜๋œ ๊ฐ’๋งŒํผ์˜ ์œ„์น˜ ์—๋„ˆ์ง€๋งŒ ๊ฐ€์งˆ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋‹ค์‹œ ๋งํ•ด, ์—๋„ˆ์ง€๊ฐ€ '์–‘์žํ™”' ๋˜์–ด ์žˆ๋‹ค. ํŠน์„ฑ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์€ ์ „์ž๊ฐ€ ์ด ์ „์ž๊ป์งˆ ์‚ฌ์ด๋ฅผ ์˜ค๊ฐˆ ๋•Œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” X์„ ์œผ๋กœ, X์„  ์ŠคํŽ™ํŠธ๋Ÿผ์—์„œ ์ข๊ณ  ๋†’์€ ํ”ผํฌ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ๋‹ค. ๋‹น์—ฐํžˆ ์ „์ž๊ป์งˆ์˜ ์—๋„ˆ์ง€ ์ค€์œ„๋Š” ์›์ž๋งˆ๋‹ค ๋‹ค๋ฅด๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด ๋ฌผ์ฒด์˜ ์›์†Œ๋ถ„์„์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๋‹ค. ์ด ์›๋ฆฌ๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ๊ฒƒ์ด XRF(X์„  ํ˜•๊ด‘๋ถ„์„). ํŠน์„ฑ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์€ ํ”ผํฌ๋Š” ๋†’์ง€๋งŒ ์ „์ฒด ์ŠคํŽ™ํŠธ๋Ÿผ์—์„œ ์ž์น˜ํ•˜๋Š” ์–‘์€ ๊ต‰์žฅํžˆ ์ž‘๋‹ค. (1-2% ์ˆ˜์ค€) ๋”ฐ๋ผ์„œ ๋ณ‘์›์ด๋‚˜ ์‚ฐ์—…ํ˜„์žฅ์—์„œ ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” X์„ ์€ ์šฐ์„  ์–‘์ด ๋งŽ๊ณ  ๋ด์•ผ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ œ๋™๋ณต์‚ฌ์„ ๊ณผ ํŠน์„ฑ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์„ ๋”ฑํžˆ ๊ตฌ๋ถ„ํ•˜์—ฌ ์‚ฌ์šฉํ•˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค. ์ข€ ๋” ์ •ํ™•ํžˆ ๋งํ•˜์ž๋ฉด ์ œ๋™๋ณต์‚ฌ์„ ๋งŒ ์‚ฌ์šฉํ•œ๋‹ค๊ณ  ๋ด๋„ ๋œ๋‹ค. ํŠน์„ฑ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์€ ๊ธฐ์—ฌํ•˜๋Š” ๋ถ€๋ถ„์ด ์ ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ. ํ•˜์ง€๋งŒ ํšŒ์ ˆ๋ถ„์„ ๋“ฑ ๋ฌผ๋ฆฌ๋ถ„์•ผ์—์„œ๋Š” X์„ ์˜ ๋‹จ์ƒ‰์„ฑ์ด ์ค‘์š”ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ๋งŽ์œผ๋ฉฐ, ์ด๋Ÿด ๋• X์„ ์†(X-ray flux)์„ ์–ด์ฉ”์ˆ˜ ์—†์ด ํฌ๊ธฐํ•˜๋ฉด์„œ๋ผ๋„ ํŠน์„ฑ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋งŒ์„ ์‚ฌ์šฉํ•œ๋‹ค. ๋ฌผ๋ก  ๋‹จ์ƒ‰์„ฑ์ด ๋†’์€ X์„ ์ด ํ•„์š”ํ•˜๋‹ค๋ฉด ๊ตณ์ด X์„  ๊ด€์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ์—์„œ ์‹คํ—˜ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์ข‹๋‹ค. ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ์˜ ์„ ์†์€ X์„ ๊ด€๋ณด๋‹ค 1,000~10,000๋ฐฐ ์ •๋„ ์…€๋ฟ๋”๋Ÿฌ, ์ด ์ •๋„ ์„ธ๊ธฐ์˜ ๋‹จ์ƒ‰ X์„ ์„ ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋ฌธ์ œ๋Š” ํ•œ๋ฒˆ ์‹คํ—˜ํ•˜๊ธฐ๊ฐ€ ๋“œ๋Ÿฝ๊ฒŒ ์–ด๋ ต๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ. (๊ตญ๋‚ด์—๋Š” ํฌํ•ญ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฐ–์— ์—†์œผ๋ฉฐ ๊ทธ๋งˆ์ €๋„ ์ค„์ด ๋งŽ์ด ๋ฐ€๋ ค์žˆ์–ด์„œ ์Šค์ผ€์ฅด ์žก๊ธฐ๊ฐ€ ์–ด๋ ต๋‹ค.)


X์„  ๊ด€์˜ ์—๋„ˆ์ง€์— ๋”ฐ๋ฅธ X์„  ์„ธ๊ธฐ ๊ทธ๋ž˜ํ”„.[10] ์™„๋งŒํ•œ ์–ธ๋•์ฒ˜๋Ÿผ ๋ณด์ด๋Š” ๋ถ€๋ถ„์ด bremsstrahlung, ์ค‘๊ฐ„์ค‘๊ฐ„ ฮฑ,ฮฒ๋“ฑ์œผ๋กœ ํ‘œ๊ธฐ๋œ ํ”ผํฌ๊ฐ€ ํƒ€๊ฒŸ ๋ฌผ์งˆ์— ์˜ํ•œ X์„ ์ด๋‹ค. K-๋Š” K๊ฐ(๊ฐ€์žฅ ์•ˆ์ชฝ ์ „์ž๊ป์งˆ)์œผ๋กœ ์ „์ž๊ฐ€ ๋–จ์–ด์ง€๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ๊ฒƒ์„ ์˜๋ฏธํ•˜๋ฉฐ, ฮฑ,ฮฒ๋Š” ์ „์ž๊ฐ€ ์–ด๋””์—์„œ ๋–จ์–ด์กŒ๋Š”์ง€๋ฅผ ๊ตฌ๋ถ„ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉํ•œ๋‹ค. ์ฐธ๊ณ ๋กœ ์ „์ž๊ป์งˆ์€ ๊ฐ€์žฅ ์•ˆ์ชฝ๋ถ€ํ„ฐ K, L, M, N, ...๋กœ ์ด๋ฆ„์„ ๋ถ™์ธ๋‹ค.

์ด๋ ‡๊ฒŒ ๋ฐœ์ƒํ•œ X-์„ ์€ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ์น˜๋ฃŒ๋‚˜ ์˜ํ•™ ์˜์ƒ, ์‚ฐ์—… ์˜์ƒ ๋“ฑ์— ์“ฐ์ด๊ณ , ์‹คํ—˜์‹ค์—์„œ๋Š” X์„ ์„ ์ด์šฉํ•œ ๋ฐ˜์‚ฌ๋„ ์ธก์ •์ด๋‚˜ ํšŒ์ ˆ ํŒจํ„ด์„ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ๋œ๋‹ค.

4.2. ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ๋ฐœ์ƒ[ํŽธ์ง‘]

ํ”ํžˆ ์ƒ๊ฐํ•˜๋Š” ๊ทธ ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ ๋งž๋‹ค. LHC๋งŒํผ ๊ฑฐ๋Œ€ํ•œ ๊ฑด ์•„๋‹ˆ๋”๋ผ๋„ ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ธฐ์—” ์—„์ฒญ๋‚˜๊ฒŒ ํฐ ๊ทธ ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ์ด๋‹ค.

4.2.1. 1์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ[ํŽธ์ง‘]

๋ฌผ๋ฆฌํ•™์ž๋“ค์ด ์›ํ˜•์œผ๋กœ ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ๋งŒ๋“  ์ด์œ ๋Š” ์›ํ˜•์ด ๊ธฐํ•˜ํ•™์ ์œผ๋กœ ์•„๋ฆ„๋‹ค์›Œ์„œ๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ๋‹ค. ์›ํ˜• ๊ฐ€์†๊ธฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๊ฐ™์€ ๋ผ์ธ์„ ๋Œ๋ฆฌ๋ฉด์„œ ํ•˜์ „ ์ž…์ž๋ฅผ ๊ณ„์† ๊ฐ€์†์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ์ง€๋งŒ, ์„ ํ˜•๊ฐ€์†๊ธฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๊ณ„์†ํ•ด์„œ ๊ฐ€์†์„ ์‹œํ‚ค๊ธฐ ์œ„ํ•ด์„  ๊ฐ™์€ ์„ ํ˜• ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ญˆ์šฑ ์—ฐ๊ฒฐํ•ด ๋†“์•„์•ผ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ํฐ ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ํ•„์š”๋กœ ํ•˜๋Š” ์‹คํ—˜์—์„œ ํ•˜์ „ ์ž…์ž๋ฅผ ์›ํ•˜๋Š” ๋งŒํผ ๊ฐ€์†์‹œํ‚ฌ๋ ค๋ฉด ๊ฐ€์†๊ธฐ์˜ ๊ธธ์ด๊ฐ€ ๋Œ€์ฑ…์—†์ด ๊ธธ์–ด์ง€๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค. ์›ํ˜•์œผ๋กœ ๊ฐ€์†์‹œํ‚ฌ ๊ฒฝ์šฐ ์‹ฑํฌ๋กœํŠธ๋ก  ๋ณต์‚ฌ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜์—ฌ ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ์žƒ์–ด ๋ฒ„๋ฆฌ๊ฒŒ ๋˜๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ํŠนํžˆ ์งˆ๋Ÿ‰์ด ์•„์ฃผ ๊ฐ€๋ฒผ์šด ํ•˜์ „์ž…์ž์ธ ์ „์ž์— ์žˆ์–ด์„œ ํฐ ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ๋œ๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ํ˜„์žฌ ์–‘์„ฑ์ž๋‚˜ ์ด์˜จ ๋“ฑ์˜ ์‹คํ—˜ ์—ฐ๊ตฌ๋“ฑ์—์„œ๋Š” ์›ํ˜•๊ฐ€์†๊ธฐ์˜ ๊ฐ€์žฅ ๋ฐœ์ „๋œ ํ˜•ํƒœ์ธ ์‹ฑํฌ๋กœํŠธ๋ก ์—์„œ ์ด๋ค„์ง€์ง€๋งŒ, ์ „์ž์˜ ์ถฉ๋Œ์— ๊ด€ํ•œ ์‹คํ—˜ ์—ฐ๊ตฌ ๋“ฑ์€ ์„ ํ˜•๊ฐ€์†๊ธฐ๋กœ ์ด๋ค„์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค(๋”ฐ๋ผ์„œ ์„ ํ˜• ๊ฐ€์†๊ธฐ๋Š” ์ „์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ผ๊ณ ๋„ ๋ถˆ๋ฆฐ๋‹ค).[11]

์ „์ˆ ๋œ ์‹ฑํฌ๋กœํŠธ๋ก  ๋ณต์‚ฌ๋Š” ์ „์˜์—ญ๋Œ€์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ธ์œ„์ ์œผ๋กœ ์กฐ์ ˆํ•˜๋Š” ๊ฒƒ๋„ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๋‹ค. ์ฆ‰, ์›ํ˜• ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ „์ž์˜ ์ถฉ๋Œ ์‹คํ—˜์ด๋‚˜ ์—ฐ๊ตฌ ๋“ฑ์— ์ด์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์€ ๋ถˆ๊ฐ€๋Šฅํ•˜์ง€๋งŒ, ์ „์ž๋ฅผ ์›ํ˜•๊ฐ€์†๊ธฐ์— ๋„ฃ์–ด ๊ฐ์ข… ์ „์ž๊ธฐํŒŒ๋ฅผ ๋ฝ‘์•„๋‚ด๋Š” ์šฉ๋„๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด๋‹ค. X์„ ์„ ์—ฐ๊ตฌํ•˜๋˜ ๊ณผํ•™์ž๋“ค์ด ์ด๊ฒƒ์„ ๋ˆˆ์—ฌ๊ฒจ๋ดค๋‹ค. ์ด๋†ˆ๋“ค์„ ์ธก์ •ํ•ด๋ดค๋”๋‹ˆ, ๋‚˜์˜ค๋ผ๋Š” ๋น›(X์„ )์€ ์„ฑ์— ์ฐฐ ๋งŒํผ ๋‚˜์˜ค์งˆ ์•Š๊ฑด๋งŒ ์•ˆ ๋‚˜์™€๋„ ๋˜๋Š” ๋น›(๊ฐ€์‹œ๊ด‘์„ )์€ ์—ฐ๊ตฌ์‹ค์—์„œ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚จ X์„ ๊ณผ๋Š” ๋น„๊ต๊ฐ€ ์•ˆ ๋  ์ •๋„๋กœ ํฌ๊ณ  ์•„๋ฆ„๋‹ค์› ๋˜ ๊ฒƒ.[12] ์•ˆ ๊ทธ๋ž˜๋„ ๋น›์˜ ์„ธ๊ธฐ๊ฐ€ ๋ชจ์ž๋ผ์„œ ๋ชป ๋ดค๋˜ ์‹คํ—˜์ด ๋งŽ์•˜๋Š”๋ฐ ์ž˜๋๋‹ค ์‹ถ์€ X์„  ๊ณผํ•™์ž๋“ค์€ ์ž…์ž ์‹คํ—˜์„ ํ•  ๋•Œ ๊ฐ€์†๊ธฐ ๊ทผ์ฒ˜์— ๋ชจ์—ฌ์„œ ์‹คํ—˜์„ ์ง„ํ–‰ํ–ˆ๊ณ , ์—ฌ๊ธฐ์„œ ์—„์ฒญ๋‚œ ์–‘์˜ ๋…ผ๋ฌธ์ด ์Ÿ์•„์ ธ ๋‚˜์™”๋‹ค.

4.2.2. 2์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ - ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ[ํŽธ์ง‘]

์œ„์˜ ์ผ๋“ค์„ ์ง€์ผœ๋ณด๋˜ ๊ณผํ•™์ž๋“ค์€ "์ด๋Ÿด ๋ฐ”์—” ๊ทธ๋ƒฅ ๋น› ๋ฐœ์ƒ์šฉ์œผ๋กœ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ง“๋Š” ๊ฒŒ ์–ด๋•Œ? ์ž…์ž ๋ฌผ๋ฆฌํ•™์ž๋“ค์€ ๋น›์„ ์•ˆ ๋‚ด๋ ค๊ณ  ํ•˜์ง€๋งŒ ์šฐ๋ฆฌ๋Š” ์ด ๋น›์„ ๋‚ด๊ณ  ์‹ถ์ž–์•„?" ์ด๋Ÿฐ ์‹์œผ๋กœ ์˜๊ฒฌ์„ ๋ชจ์•„์„œ, ๋น› ๋ฐœ์ƒ์šฉ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์ž…์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ์ธ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์ง“๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. ๊ทธ๋ž˜์„œ ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ๋Š” ๊ฐ•ํ•˜๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์–ด๋ ค์šด ์ „์ž๊ธฐํŒŒ(X์„ , ๋งˆ์ดํฌ๋กœํŒŒ)๋ฅผ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š” ์šฉ๋„๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ฒŒ ๋œ๋‹ค.
2์„ธ๋Œ€ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ์—์„œ ๋น›์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋Œ€๋žต์ ์ธ ๋ชจ์‹๋„. ์ „์ž๋“ค์ด ํœจ์ž์„(Bending Magnet)์„ ํ†ต๊ณผํ•˜๋ฉด์„œ ์ ‘์„  ๋ฐฉํ–ฅ์œผ๋กœ ๋น›์„ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚จ๋‹ค.

4.2.3. 3์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ - Undulator์™€ Wiggler[ํŽธ์ง‘]

2์„ธ๋Œ€ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ๋Š” ๋‹จ์ˆœํžˆ ์ž…์ž๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ๋ง ๊ทธ๋Œ€๋กœ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ผ๋Š” "์ด๋ฆ„"๋งŒ ๋ถ™์ธ ๊ฒƒ์ด๋‚˜ ๋‹ค๋ฆ„์ด ์—†์—ˆ๋‹ค. ๊ฐ€์†๊ธฐ ๋‚ด๋ถ€์—์„œ ์ „์ž๊ฐ€ ์› ์šด๋™์„ ํ•˜๋ฉด์„œ ๋‚˜์˜ค๋Š” ๋น›์€ ์ ‘์„ ๋ฐฉํ–ฅ์œผ๋กœ ๋”ฑ ํ•œ ๋ฒˆ๋งŒ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น›์ด์—ˆ๊ณ , ์ด๋Š” ๋ฌผ๋ก  ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ์™€๋Š” ๋น„๊ต๋„ ๋ชปํ•  ๋งŒํผ ์„ธ๊ธฐ๊ฐ€ ํฌ๊ธด ํ–ˆ์ง€๋งŒ ๊ณผํ•™์ž๋“ค์€ ์ด ๋น›์„ ์กฐ๊ธˆ ๋” ์„ธ๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค๊ณ  ์‹ถ์—ˆ๋‹ค.


๊ทธ๋ž˜์„œ ๋‚˜์˜จ ์•„์ด๋””์–ด๊ฐ€ ์œ„์—์„œ ๋ณด์—ฌ์ค€ ํœจ์ž์„(Bending Magnet)์„ ์—ฐ์†์œผ๋กœ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ ์œ„์น˜์‹œ์ผœ, ํ•œ ๋ฐฉํ–ฅ์œผ๋กœ "์ ‘์„ "์„ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ ๋งŒ๋“ค์–ด ๋น›์„ ๋”์šฑ ์„ธ๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค์ž๋Š” ๊ฒƒ์ด์—ˆ๋‹ค. ์ด ์•„์ด๋””์–ด๋Š” ์ž…์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ์—์„œ ์ „์ž๊ฐ€ ํšŒ์ „ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š” ๋ถ€๋ถ„[14]์—์„œ๋„ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์—ˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ์˜ ๊ฐ€๋™ ํšจ์œจ(์‹คํ—˜์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋น”๋ผ์ธ ๊ฐœ์ˆ˜ ์ฆ๊ฐ€)์—๋„ ๋„์›€์ด ๋˜์—ˆ๊ณ , ์ถ”๊ฐ€์ ์ธ ์„ฑ์งˆ๋„ ๋ฐœ๊ฒฌ์ด ๋˜์–ด์„œ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์œผ๋กœ๋Š” ์„ฑ๊ณต์ ์ธ ์•„์ด๋””์–ด๋ผ๊ณ  ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์—ˆ๋‹ค.

ํ˜„์žฌ ์šฐ๋ฆฌ๋‚˜๋ผ์— ์žˆ๋Š” ๊ฐ€์†๊ธฐ ์ค‘ ํฌํ•ญ๊ณต๋Œ€์— ์žˆ๋Š” ๊ฐ€์†๊ธฐ๋„ ์ด 3์„ธ๋Œ€ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋กœ ์“ฐ์ธ๋‹ค.[15] ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋Š” ์„ผ ๋น›์ด ๋‚˜์˜จ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ๋„ ์žˆ์ง€๋งŒ, ๊ทธ ์™ธ์—๋„ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์—๋„ˆ์ง€ ๋ฒ”์œ„(= ํŒŒ์žฅ ๋ฒ”์œ„)๋ฅผ ์กฐ์ ˆํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋“ ๊ฐ€, X์„  ๊ด€์—์„œ๋Š” ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ์ง€ ์•Š์€ "๊ฒฐ๋งž์Œ์„ฑ"์„ ๊ฐ€์ง€๊ณ  ์žˆ๋‹ค๋“ ๊ฐ€ ํ•˜๋Š” ํŠน์ง• ๋•Œ๋ฌธ์— ๋งŽ์€ ๊ณผํ•™์ž๊ฐ€ ์—ฐ๊ตฌ์— ์“ฐ๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋‹จ์ง€ X์„  ์ž์ฒด๋ฅผ ์—ฐ๊ตฌ์ฃผ์ œ๋กœ ํ•˜๋Š” ์‹คํ—˜์‹ค์€ ์†์— ๊ผฝ๋Š”๋‹ค. ์•ˆ์Šต.

4.2.4. 4์„ธ๋Œ€ ๊ฐ€์†๊ธฐ[ํŽธ์ง‘]

ํ˜„์žฌ ๋ฏธ๊ตญ[16](2008๋…„ ๋ณด์œ ), ์ผ๋ณธ[17](2010๋…„ ๋ณด์œ ), ๋Œ€ํ•œ๋ฏผ๊ตญ[18](2016๋…„ ๋ณด์œ )๋งŒ ์†Œ์œ , ๊ฐ€๋™ ์ค‘์ด๋‹ค. ๊ตญ์™ธ๋กœ๋Š” ์Šค์œ„์Šค, ๋…์ผ ๋“ฑ์ด ๊ฑด์„ค ์ค‘์— ์žˆ๋‹ค. ์šฐ๋ฆฌ ๋‚˜๋ผ์—์„œ๋Š” 2013๋…„ 5์›”9์ผ ๊ธฐ๊ณต์‹์„ ํ•˜์˜€๊ณ , 2014๋…„ 12์›” ์™„๊ณต. 2015๋…„๋„ ํ›„๋ฐ˜๊ธฐ๊นŒ์ง€ ํ…Œ์ŠคํŠธ๋ฅผ ๊ฑฐ์ณ ๊ณต์‹ ์˜คํ”ˆ[19]์€ 2016๋…„ 10์›” ๊ฐ€๋™ ๊ฐœ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. ๋“ค์–ด๊ฐ„ ์ถ”๊ฒฝ์˜ˆ์‚ฐ์€ ์•ฝ 4000์–ต ์›์ด๋‹ค.[20]

X์„  ๋ฐœ์ƒ๊ธฐ๋กœ์„œ์˜ ํŠน์ง•์€ 3์„ธ๋Œ€ ๊ฐ€์†๊ธฐ์ธ Wiggler ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ง์„ ์œผ๋กœ ๋งค์šฐ ๊ธธ๊ฒŒ ๋ฐฐ์น˜ํ•˜์—ฌ[21], ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น„ ๊ฒฐ๋งž์Œ์„ฑ ๊ด‘์„ ์ด ์ „๋ถ€ ์ƒ์‡„๋˜๊ณ  ๊ฒฐ๋งž๋Š” ๋น›๋งŒ ๋‚จ๋„๋ก ํ•œ๋‹ค๋Š” ์ ์ด๋‹ค. ๊ฒฐ๊ณผ์ ์œผ๋กœ ๋ ˆ์ด์ €๋ž‘ ๊ฐ™์€ ์„ฑ์งˆ์„ ๊ฐ€์ง€๋ฉด์„œ, ์„ ์†(Flux)๋„ ๋งค์šฐ ๋†’๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ํŠน์ง•. ์žฅ์ ์€ ๋งค๋ฒˆ ์ „์ž๋ฅผ ๊ฐ€์†ํ•  ๋•Œ๋งˆ๋‹ค X์„ ์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํŽ„์Šค ํ˜•ํƒœ๋กœ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ๊ฐ€ ์‰ฝ๊ณ [22] ํ•œ ํŽ„์Šค์—์„œ ๋‚˜์˜ค๋Š” ์„ ์†์ด 3์„ธ๋Œ€ ๊ฐ€์†๊ธฐ์—์„œ 1์ดˆ ๋™์•ˆ ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์„ ์†๊ณผ ๋งž๋จน๋Š”๋‹ค๋Š” ์ , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  100% ๊ฒฐ๋งž๋Š” ๋น›์ด ๋‚˜์˜จ๋‹ค๋Š” ์ ์ด๋‹ค. ๋ฐ˜๋ฉด ๋‹จ์ ์€ ๋‚˜๋จธ์ง€ ์ „๋ถ€. ๋งค๋ฒˆ ์ƒˆ๋กœ์šด ์ „์ž๋ฅผ ์˜์•„์ฃผ๊ณ , ์‚ฌ์šฉํ•œ ์ „์ž๋Š” ๋ฒ„๋ฆฌ๋Š” ๋ฐฉ์‹์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์–ป์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์„ ์†๋Ÿ‰์ด ์ผ์ •ํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ  ๋“ค์ญ‰๋‚ ์ญ‰ํ•˜๋ฉฐ, ๊ฐ™์€ ๊ถค๋„๋ฅผ ๋ฐ˜๋ณตํ•ด์„œ ๋Œ๊ฒŒ ๋งŒ๋“ค์–ด ๋น” ์œ„์น˜๊ฐ€ ์•ˆ์ •๋œ 3์„ธ๋Œ€ ๊ฐ€์†๊ธฐ์™€ ๋น„๊ตํ–ˆ์„ ๋•Œ ๋น”์˜ ์œ„์น˜๊ฐ€ ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ๋ถˆ์•ˆ์ •ํ•˜๋‹ค. ๊ฑฐ๊ธฐ์— ๋น›์ด ๋„๋‹ฌํ•˜๋Š” ๋ฐฉํ–ฅ์ด ๋‹จ ํ•œ ๋ฐฉํ–ฅ์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ํ•˜๋‚˜์˜ ๊ฐ€์†๊ธฐ์— ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ์˜ ์‹คํ—˜์‹ค์ด ์œ„์น˜ํ•œ 2, 3์„ธ๋Œ€์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ ํ•˜๋‚˜์˜ ๊ฐ€์†๊ธฐ์— ๋‹จ ํ•˜๋‚˜์˜ ์‹คํ—˜๋งŒ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๋‹ค๋Š” ์ ๋„ ํฐ ๋‹จ์ .[23] ํ•œ๋งˆ๋””๋กœ ์š”์•ฝํ•˜์ž๋ฉด ์„ ์†๊ณผ ๊ฒฐ๋งž์Œ์„ฑ์„ ์œ„ํ•ด ๋‚˜๋จธ์ง€๋ฅผ ํฌ๊ธฐํ–ˆ๋‹ค.

5. ์šฉ๋„[ํŽธ์ง‘]

  • ์˜๋ฃŒ์šฉ: X์„  ๋ฐœ๊ฒฌ ์ดˆ๊ธฐ์—๋Š” ์ผ๋ถ€ ๋ฌผ์งˆ๋“ค[25]์„ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ  ํˆฌ๊ณผ์„ฑ์ด ๋†’์€ ํŠน์„ฑ์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์ข€์ฒ˜๋Ÿผ ๋ณด๊ธฐ ์–ด๋ ค์› ๋˜ ์ธ์ฒด ๋‚ด๋ถ€๋ฅผ ํˆฌ์‚ฌํ•ด ์˜๋ฃŒ์šฉ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•˜์˜€๊ณ , ์ด ์šฉ๋„๋Š” ์˜ค๋Š˜๋‚ ๊นŒ์ง€ ์ด์–ด์ง€๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. X์„ ์„ ์ฃผ๋กœ ๋‹ค๋ฃจ๋Š” ์˜ํ•™ ๋ถ„์•ผ๋Š” ์˜์ƒ์˜ํ•™๊ณผ์ด๋‹ค.
  • ๋ฌผ์„ฑ๋ถ„์„์šฉ
    • X์„  ํšŒ์ ˆ ๋ถ„์„(X-Ray Diffraction, XRD): ๊ฒฐ์ •๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๋ฌผ์งˆ์„ ๋ถ„์„ํ•˜๋Š” ๋ฐ ์ด์šฉํ•œ๋‹ค. X์„ ์˜ ํŒŒ์žฅ์ด ๊ฒฐ์ •์˜ ํฌ๊ธฐ์™€ ๋น„์Šทํ•œ ๋Œ€์—ญ์ด๋ผ ์ƒํ˜ธ์ž‘์šฉ์„ ์ž˜ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ. ํŠน์ • ๋ฌผ์งˆ์„ ์ •์„ฑ๋ถ„์„ํ•˜๋Š” ๋ถ„๋ง X์„  ํšŒ์ ˆ ๋ถ„์„(powder XRD, PXRD), ๋‹จ๊ฒฐ์ •์˜ ๊ฒฐ์ • ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ๋ฐํ˜€๋‚ด๋Š” ๋‹จ๊ฒฐ์ • X์„  ํšŒ์ ˆ ๋ถ„์„(single crystal XRD), ์ž…์ž์˜ ํฌ๊ธฐ ๋ถ„ํฌ๋ฅผ ์ •๋Ÿ‰์ ์œผ๋กœ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” X์„  ์†Œ๊ฐ ์‚ฐ๋ž€(Small Angle X-ray Scattering, SAXS) ๋“ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. ์ฃผ์š” ์ œ์กฐ์‚ฌ๋กœ๋Š” Bruker (๋…์ผ), Rigaku (์ผ๋ณธ) ๋“ฑ์ด ๊ผฝํžŒ๋‹ค.
    • X์„  ๊ด‘์ „์ž ๋ถ„๊ด‘๋ฒ•(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS): X์„ ์œผ๋กœ ๋‚ด๊ฐ ์ „์ž๋ฅผ ๋“ค๋œจ๊ฒŒ ํ•˜์—ฌ ๊ฐ€์ „์ž๋กœ ๋งŒ๋“ค๊ณ , ๊ทธ ๊ฐ€์ „์ž๊ฐ€ ์ง„๊ณต ์ค‘์œผ๋กœ ๊ด‘์ „์ž๋กœ ๋ฐฉ์ถœ๋˜๋Š” ํ˜„์ƒ์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์›์†Œ๋ถ„์„ ๋ฐ ํ™”ํ•™ ๊ฒฐํ•ฉ์— ๋Œ€ํ•œ ์ •๋ณด๋ฅผ ์–ป๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•.
    • ํŠน์„ฑ X์„  ๋ถ„๊ด‘๋ฒ•(Charaterstic X-ray Spectroscopy): ๋ฌผ์งˆ ํ‘œ๋ฉด์˜ ๊ตฌ์„ฑ ์›์†Œ๋ฅผ ์ •์„ฑ ๋ฐ ์ •๋Ÿ‰์ ์œผ๋กœ ๋ถ„์„ํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•. ์™ธ๋ถ€ ์ž๊ทน์— ์˜ํ•ด ์ „์ž๊ฐ€ ๊ถค๋„์—์„œ ์ดํƒˆ๋˜๋ฉด, ๊ทธ ์ดํƒˆํ•œ ๋นˆ์ž๋ฆฌ๋ฅผ ์ฑ„์šฐ๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋” ๋†’์€ ์ค€์œ„์— ์žˆ๋˜ ์ „์ž๊ฐ€ ๋นˆ์ž๋ฆฌ๋กœ ๋‚ด๋ ค์˜ค๋ฉด์„œ ๊ทธ ์—๋„ˆ์ง€ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋น›(X์„ )์œผ๋กœ ๋ฐฉ์ถœํ•˜๊ฒŒ ๋˜๊ณ , ์ด๋ฅผ ๊ฐ ์›์†Œ์˜ ํŠน์„ฑ X์„ ๊ณผ ๋Œ€์กฐํ•˜์—ฌ ์–ด๋–ค ์›์†Œ๊ฐ€ ํฌํ•จ๋˜์–ด ์žˆ๋Š”๊ฐ€๋ฅผ ๋ถ„์„ํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•. ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์ฃผ์‚ฌ ์ „์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ(SEM)์ด๋‚˜ ํˆฌ๊ณผ์ „์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ(TEM) ํ˜น์€ ์ „์žํƒ์นจ๋ถ„์„๊ธฐ(EPMA)์— ๋ถ€์ฐฉ๋˜์–ด ๊ฒ€์ถœ๊ธฐ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ฑฐ๋‚˜, X์„  ํ˜•๊ด‘๋ถ„์„๊ธฐ (X-ray fluorescence analyzer, XRF) ์‹œ์Šคํ…œ์˜ ๊ฒ€์ถœ๊ธฐ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋œ๋‹ค. ์ฐจ์ด์ ์€ ์ „์ž๋กœ ์ „์ž๋ฅผ ์ดํƒˆ์‹œํ‚ค๋А๋ƒ (SEM/TEM/EPMA), ์•„๋‹ˆ๋ฉด X์„ ์œผ๋กœ ์ „์ž๋ฅผ ์ดํƒˆ์‹œํ‚ค๋А๋ƒ(XRF)์— ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ XRF๋Š” ๋„“์€์˜์—ญ์„ ๊ด€์ฐฐํ•˜๊ณ , ์ „์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ๋ฅ˜์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ข์€ ์˜์—ญ์„ ๊ด€์ฐฐํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ์›์†Œ mapping์— ์šฉ์ดํ•˜๋‹ค. ๋ฐฉ์‹์— ๋”ฐ๋ผ ์—๋„ˆ์ง€ ๋ถ„์‚ฐ์‹ (Energy dispersive)๊ณผ ํŒŒ์žฅ ๋ถ„์‚ฐ์‹(Wavelength dispersive)๋กœ ๋‚˜๋‰œ๋‹ค. Oxford Instrument, Thermo Fisher Scientific, Ametek(EDAX), JEOL, Bruker, Rigaku ๋“ฑ์ด ์ฃผ๋กœ ์ƒ์‚ฐํ•œ๋‹ค.
      • ์—๋„ˆ์ง€ ๋ถ„์‚ฐ X์„  ๋ถ„๊ด‘๋ฒ• (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS) : ํŠน์„ฑ X์„ ์„ Silicon drift detector๋กœ ์—๋„ˆ์ง€์— ๋”ฐ๋ผ ๊ฒ€์ถœํ•œ๋‹ค. ์‹ ํ˜ธ๋ฅผ ๋ฐ›์•„๋“ค์ด๋Š” ์–‘์ด ํฌ๋ฏ€๋กœ ๋ถ„์„์‹œ๊ฐ„์ด ์งง๊ณ  ์ „์žํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ ์กฐ๊ฑด์—์„œ ์‚ฌ์šฉ์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๋ฏ€๋กœ SEM์ด๋‚˜ TEM์— ๋ถ€์ฐฉ๋ผ์„œ ์ฃผ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋œ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ WDS์— ๋น„ํ•ด์„œ ์ •๋Ÿ‰๋ถ„์„์˜ ์ •ํ™•๋„๊ฐ€ ๋–จ์–ด์ง„๋‹ค.
      • ํŒŒ์žฅ ๋ถ„์‚ฐ X์„  ๋ถ„๊ด‘๋ฒ• (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, WDS): ํŠน์„ฑ X์„ ์„ ๋‹จ๊ฒฐ์ •์„ ํ†ต๊ณผ์‹œ์ผœ ํŠน์ • ํŒŒ์žฅ์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” X์„ ๋งŒ์„ ๋ฐ›์•„๋‚ธ๋‹ค. ๋ชจ๋“  X-ray๋ฅผ ๋™์‹œ์— ๋ฐ›์•„๋‚ด๋Š” EDS์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ, ๋‹จ๊ฒฐ์ •์„ ํšŒ์ „์‹œํ‚ค๋ฉด์„œ ํŠน์ • ํŒŒ์žฅ์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” X-ray๋งŒ์„ ์ˆœ์ฐจ์ ์œผ๋กœ ๋ฐ›์•„๋“ค์ด๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ๋ถ„์„์‹œ๊ฐ„์ด EDS์— ๋น„ํ•ด ์›”๋“ฑํžˆ ์˜ค๋ž˜ ๊ฑธ๋ฆฌ๋ฏ€๋กœ ๋ถˆํŽธํ•˜์ง€๋งŒ, ํ›จ์”ฌ ์ •ํ™•ํ•œ ์ •๋Ÿ‰๋ถ„์„ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์‚ฐ์ถœํ•œ๋‹ค.
    • X์„  ํ˜•๊ด‘๋ถ„์„๊ธฐ (X-ray fluorescence analyzer, XRF) : EDS ๋˜๋Š” WDS ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์‹œ๋ฃŒ์˜ ์›์†Œ๋ฅผ ์ •์„ฑ/์ •๋Ÿ‰๋ถ„์„ํ•œ๋‹ค.
  • ์‚ฐ์—…๊ณต์ •
    • X์„  ์‚ฌ์ง„ ์‹๊ฐ(X-ray lithography): ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ์˜ ํ•œ ๋ฐฉ๋ฒ•. X์„ ์€ ์ž์™ธ์„ ์— ๋น„ํ•ด์„œ๋„ ํ›จ์”ฌ ์งง์€ ํŒŒ์žฅ์„ ๊ฐ€์ง€๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋” ๋ฏธ์„ธํ•œ ๊ธฐํŒ์„ ์šฉ์ดํ•˜๊ฒŒ ๊นŽ์„ ์ˆ˜ ์žˆ์œผ๋‚˜, X์„  ์ž์ฒด๊ฐ€ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์ด๋ผ๋Š” ์•ฝ์ (์œ„ํ—˜์„ฑ)์„ ์•ˆ๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ์ด ๊ฒฝ์šฐ๋Š” ๊ด‘์›์˜ ๋‚ฎ์€ ํšŒ์ ˆ์œจ(๋†’์€ ์ง์ง„์„ฑ)์„ ์ด์šฉํ•œ ๊ธฐ์ˆ ์ด๋‹ค. X์„ ์ด๋ผ๊ณ  ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ธฐ๋Š” ์• ๋งคํ•˜๋‚˜ EUVL(Extreme UltraViolet Lithography, ๊ทน์ž์™ธ์„  ๋ฆฌ์†Œ๊ทธ๋ž˜ํ”ผ)์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์ž์™ธ์„ ์˜ ํŒŒ์žฅ์ด 13.5 nm๋กœ, X์„ ์— ๊ฑฐ์˜ ๊ทผ์ ‘ํ•œ ํŒŒ์žฅ์„ ๊ฐ–๋Š” ์ž์™ธ์„ ์ด๋‹ค.

6. ์ธ์ฒด์— ๋ฏธ์น˜๋Š” ์˜ํ–ฅ[ํŽธ์ง‘]

์‚ฌ๋žŒ๋“ค์ด ์ž˜ ๋ชจ๋ฅด๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์žˆ๋Š”๋ฐ, X์„ ์€ ์—„์—ฐํ•œ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์ด๋‹ค. ์—๋„ˆ์ง€๊ฐ€ ์•ฝํ•œ ์ž์™ธ์„ ๋„ ํ”ผ๋ถ€์•”์„ ์œ ๋ฐœํ•  ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์„ ๋†’์ด๋Š”๋ฐ, ์—๋„ˆ์ง€๊ฐ€ ๋†’์•„์„œ ๋ผ›์†๊นŒ์ง€ ํˆฌ๊ณผํ•˜๋Š” X์„ ์€ ๋‹น์—ฐํžˆ ์•”์„ ์œ ๋ฐœํ•  ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. ๋‹ค๋งŒ ์ผ๋ฐ˜์ธ์ด๋ผ๋ฉด ์ž์™ธ์„ ์ฒ˜๋Ÿผ ์‚ฌ๋žŒ๋“ค์ด ํ•ญ์ƒ ํ”ผํญ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ๋„ ์•„๋‹ˆ๊ณ  ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ๊ธฐ๊ปํ•ด์•ผ ์ผ ๋…„์— ํ•œ ๋ฒˆ[26]๋งž์„๊นŒ ๋ง๊นŒ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํ˜„์‹ค์ ์œผ๋กœ ๋ฌด์‹œํ•ด๋„ ๋˜๋Š” ์ •๋„์ด๋ฏ€๋กœ ์‹ ๊ฒฝ์“ฐ์ง€ ์•Š๋Š” ๊ฒƒ์ผ ๋ฟ, ์งง์€ ๊ธฐ๊ฐ„์— ๋ฐ˜๋ณต์ ์œผ๋กœ ์—ฌ๋Ÿฌ ๋ฒˆ ๋งž๊ฒŒ ๋˜๋ฉด ๋‹น์—ฐํžˆ ์œ„ํ—˜ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.[27] ๋‹จ ์žฅ๋น„ ์„ค์ • ์˜ค๋ฅ˜๋กœ X์„ ์„ ์ฐ์œผ๋ ค๋˜ ํ™˜์ž๊ฐ€ ๊ทธ์•ผ๋ง๋กœ X์„ ์— ๊ตฌ์›Œ์ง€๋Š” ๋ฐ”๋žŒ์— ์‚ฌ๋ง์ž๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์‚ฌ๋ก€๋„ ์žˆ๊ธด ํ•˜๋‹ค.

๊ฒŒ๋‹ค๊ฐ€ ์• ์ดˆ์— ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๊ณผ ์•” ๋ฐœ์ƒ์€ ํ™•๋ฅ ์ ์ด๋‹ค. ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์„ ์กฐ์‚ฌ๋ฐ›์€ ์ˆ˜์น˜์ธ ์กฐ์‚ฌ์„ ๋Ÿ‰์ด ๋†’์•„์ง„๋‹ค๊ณ  ์•” ๋ฐœ์ƒ๋ฅ ์ด ๋ฌดํ•œ์ • ๋†’์•„์ง€๋Š” ๊ฒƒ๋„ ์•„๋‹ˆ๊ณ , ์˜คํžˆ๋ ค X์„ ๋ณด๋‹ค ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค, ์Œ์ฃผ, ํก์—ฐ ๋“ฑ์˜ ๋‹ค๋ฅธ ๋ฐœ์•”์›์ธ์„ ๊ฑฑ์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒŒ ๋‚ซ๋‹ค. ์ฆ‰, ์—ฌ๋Ÿฌ ๋ฒˆ ๋งŽ์ด ์กฐ์‚ฌ๋ฐ›์œผ๋ฉด ๋‹น์—ฐํžˆ ์•”์— ๊ฑธ๋ฆด ํ™•๋ฅ ์€ ๋†’์•„์ง€๊ฒ ์ง€๋งŒ ๊ผญ ์•”์— ๊ฑธ๋ฆฌ๋Š” ๊ฑด ์•„๋‹ˆ๋‹ค.

๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์ž„์‚ฐ๋ถ€ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์šฐ๋Š” ๋ฐฉ์‚ฌ๋Šฅ์— ํŠนํžˆ ์ทจ์•ฝํ•œ ํƒœ์•„๋ฅผ ๋ณดํ˜ธํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด X์„  ์ดฌ์˜์€ ๋ฌด์กฐ๊ฑด ํ”ผํ•ด์•ผ๋งŒ ํ•œ๋‹ค. ์ด๋Š” ํƒœ์•„ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์šฐ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์— ์ƒ๋‹นํžˆ ๋ฏผ๊ฐํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ธ๋ฐ, ์ž„์‹ ํ•œ ๊ฐœ์›”์ˆ˜์— ๋”ฐ๋ผ ๋˜ ๋‚˜๋‰˜์–ด ์ง„๋‹ค. ์šฐ์„  ์ฐฉ์ƒ๊ธฐ์— ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์„ ์กฐ์‚ฌ๋ฐ›์„ ๊ฒฝ์šฐ, ์ฃฝ๊ฑฐ๋‚˜ ์‚ด๊ฑฐ๋‚˜๋‹ค. ์ฃฝ์œผ๋ฉด ๋‹น์—ฐํžˆ ์œ ์‚ฐ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์ด๊ณ , ์‚ด๊ฒŒ ๋  ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ๋‹ค๋ฅธ ์˜ํ–ฅ์€ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค. ๊ธฐ๊ด€ ํ˜•์„ฑ๊ธฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ, ์ด๋•Œ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ์กฐ์‚ฌ๋ฅผ ๋ฐ›๊ฒŒ ๋˜๋ฉด ๊ธฐํ˜•์ด ๋œ๋‹ค. ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์€ ํ™œ๋ฐœํžˆ ๋ถ„์—ดํ•˜๋Š” ์„ธํฌ์— ์˜ํ–ฅ์„ ๋” ๋งŽ์ด ์ค€๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๊ธฐ์— ๋ง‰ ๊ธฐ๊ด€์ด ํ˜•์„ฑ๋˜์–ด ๋ถ„์—ดํ•˜๋Š” ์‹œ๊ธฐ์ธ ์ด๋•Œ ๊ธฐํ˜•์ด ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค. ํƒœ์•„๊ธฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ, ํƒœ์•„์ƒํƒœ์—์„œ๋Š” ์ด๋ฏธ ๊ธฐ๊ด€๋“ค์ด ๋‹ค ํ˜•์„ฑ๋˜์—ˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ๊ธฐํ˜•์€ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค. ํ•˜์ง€๋งŒ, ์กฐ์‚ฌ๋ฅผ ๋ฐ›์œผ๋ฉด, ์ถœ์‚ฐ ๋•Œ ํƒœ์•„์˜ ์ฒด์ค‘์ด ๊ฐ์†Œํ•˜๊ณ , ๋ฐœ์œก์ง€์—ฐ์ด ์ผ์–ด๋‚œ๋‹ค.

๋‹จ ์ง์—…์ ์ธ ์ด์œ ๋กœ X์„ ์„ ๋งŽ์ด ๋‹ค๋ค„์•ผ ํ•˜๋Š” ์‚ฌ๋žŒ์€ ๋‹ค๋ฅด๋‹ค. ์˜๋ฃŒ์ธ์€ ๋ฌผ๋ก  ์ž…์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ ๋“ฑ์„ ๋‹ค๋ฃจ๋Š” ์—ฐ๊ตฌ์‹ค์—์„œ๋„ ์–ธ์ œ๋“ ์ง€ X์„  ํ”ผํญ์˜ ์œ„ํ—˜์ด ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ๋ž˜์„œ ๋‚ฉ์„ ์ฑ„์›Œ๋„ฃ์€ ์•ž์น˜๋งˆ(์—์ดํ”„๋Ÿฐ)๋ฅผ ์ž…๊ณค ํ•˜๋Š”๋ฐ ์™ธ๊ณผ๊ณ„์—ด ์˜์‚ฌ๋‚˜ ๊ฐ„ํ˜ธ์‚ฌ ๋“ฑ์ด ๊ท€์ฐฎ๋‹ค๊ณ  ์•ˆ ์ž…์—ˆ๋‹ค๊ฐ€ ๋‚˜์ค‘์— ํ”ผ๋ถ€์•”์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•˜๋Š” ๋“ฑ์˜ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค. ๋ณดํ†ต ์ฃผ๊ธฐ์ ์œผ๋กœ x-ray ํ˜น์€ CT์ดฌ์˜์‹ค์— ์ถœ์ž…ํ•˜๋Š” ๋ณด๊ฑด์ธ๋ ฅ์€ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ํ”ผํญ๋Ÿ‰์ธก์ •๊ธฐ๋ฅผ ์˜ท์— ์ง€๋‹ˆ๊ณ  ๋‹ค๋‹Œ๋‹ค. ๋ณดํ†ต CT๋ฅผ ์ฐ๋Š” ํ™˜์ž์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ƒํƒœ๊ฐ€ ๋ถˆ๋Ÿ‰ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ๋งŽ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์˜์‚ฌ, ๊ฐ„ํ˜ธ์‚ฌ, ์‘๊ธ‰๊ตฌ์กฐ์‚ฌ ๋“ฑ์€ CT์ดฌ์˜ ์‹œ ํ™˜์ž์˜†์—์„œ ์ƒํƒœ๋ฅผ ๊ณ„์†ํ•ด์„œ ํ™•์ธํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ๋งŽ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋”์šฑ ์œ„ํ—˜ํ•˜๋‹ค(์™ธ๊ณผ๊ณ„์—ด ๋˜๋Š” ์‘๊ธ‰์˜๋ฃŒ์ข…์‚ฌ).

์•„์šธ๋Ÿฌ CT์ดฌ์˜์‹ค์—๋Š” CT์ดฌ์˜ ์‹œ "์กฐ์˜์ œ"๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ์กฐ์˜์ œ ์ฃผ์ž… ์ „(์ •๋งฅ์ฃผ์‚ฌ) ํ”ผ๋ถ€๋ฐ˜์‘๊ฒ€์‚ฌ๋ฅผ ํ•ด์•ผํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ณดํ†ต ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์‚ฌ์™€ ๋”๋ถˆ์–ด ๊ฐ„ํ˜ธ์‚ฌ๊ฐ€ ์ƒ์ฃผํ•œ๋‹ค(๋˜๋Š” ๊ฐ„ํ˜ธ์กฐ๋ฌด์‚ฌ)

๋ญ, ๊ทธ๋ž˜๋„ ์—‘์Šค์„  ์ดฌ์˜์ด ์ž์—ฐ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋ณด๋‹ค ๋” ๋†’์€ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์ธ ๊ฑด ์‚ฌ์‹ค์ด๋‹ค. ์š”์ฆ˜์€ ์ €์„ ๋Ÿ‰์œผ๋กœ๋„ ์ดฌ์˜์ด ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๋„๋ก ๊ธฐ์ˆ ์ด ๋ฐœ์ „ํ–ˆ์ง€๋งŒ, ์ €์„ ๋Ÿ‰ ๊ธฐ๊ธฐ๊ฐ€ ๋ชจ๋“  ๊ณณ์— ๋‹ค ํผ์ง„ ๊ฒƒ๋„ ์•„๋‹ˆ๊ณ , ์›์ž๋ ฅ ์‚ฌ๊ณ  ๋ฐœ์ƒ ์‹œ ์—‘์Šค์„  ์ดฌ์˜ ๋ช‡ ๋ฒˆ ์ฐ์—ˆ์„ ๋•Œ์˜ ํ”ผํญ๋Ÿ‰๊ณผ ๋™์ผํ•˜๋‹ค๋Š” ๋น„์œ ๋„ ๋งŽ์ด ๋‚˜์˜ค๊ธฐ๋„ ํ•˜๊ณ ..

์—‘์Šค์„  ์ดฌ์˜์„ ํ•  ๋•Œ ํ”ผํญ์„ ์กฐ๊ธˆ์ด๋‚˜๋งˆ ์ค„์ด๊ณ  ์‹ถ์€ ์œ„ํ‚ค๋Ÿฌ๋“ค์€ ์ดฌ์˜ ์ „์— ๋‚ฉ ์•ž์น˜๋งˆ๋ฅผ ์š”๊ตฌํ•˜์ž. ์–ด์ง€๊ฐ„ํ•œ ์—‘์Šค์„  ์ดฌ์˜ ์‹œ์„ค์—์„œ๋Š” ํ”ผํญ๋ฐฉ์ง€๋ฅผ ์œ„ํ•œ ๋ฐฉํ˜ธ๋„๊ตฌ๋ฅผ ๊ฐ–์ถ”๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ํ ์—‘์Šค๋ ˆ์ด ์ดฌ์˜ ์‹œ ๋‚ฉ ์•ž์น˜๋งˆ๋ฅผ ์š”๊ตฌํ•˜๋ฉด ํ•˜๋ฐ˜์‹ (์ƒ์‹๊ธฐ ๋ถ€๋ถ„)์„ ๊ฐ€๋ฆด ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ์ค€๋น„ํ•ด ์ค€๋‹ค.

7. ๊ธฐํƒ€[ํŽธ์ง‘]

X์„  ๋ฐœ๊ฒฌ ์ดํ›„, ๋ขดํŠธ๊ฒ์—๊ฒŒ X์„ ์„ ํŠนํ—ˆ ๋‚ด์ง€ ์•Š๊ฒ ๋ƒ๋ผ๋Š” ์ œ์•ˆ์ด ๋“ค์–ด์™”์ง€๋งŒ, ๋ขดํŠธ๊ฒ์€ ์ฟจํ•˜๊ฒŒ ๊ฑฐ์ ˆํ•œ๋‹ค. ์ž์‹ ์€ ์›๋ž˜ ์žˆ๋˜ ๋น›์„ "๋ฐœ๊ฒฌ"ํ–ˆ์„ ๋ฟ์ด์ง€ ๋ฐœ๋ช…ํ•œ ๊ฑด ์•„๋‹ˆ๊ธฐ์— ์ „ ์ธ๋ฅ˜์˜ ์žฌ์‚ฐ์ด ๋˜์–ด์•ผ ํ•œ๋‹ค๊ณ .

X์„ ์ด ์ธ์ฒด๋ฅผ ํšจ๊ณผ์ ์œผ๋กœ ๋ณผ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ํŠน์„ฑ์ด ์•Œ๋ ค์ง€๋ฉด์„œ, ์ดˆ๊ธฐ์—๋Š” ์‹ ๋ฐœ์„ ์ œ์ž‘ํ•˜๋Š” ์ œํ™”๊ณต๋“ค์ด ๋งž์ถค ์‹ ๋ฐœ์„ ์ž˜ ๋งŒ๋“ค๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋งค๋ฒˆ ๊ณ ๊ฐ๋“ค์˜ ๋ฐœ์„ ์ดฌ์˜ํ•ด์„œ ์ œ์ž‘ํ–ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•œ๋‹ค. ๋‹น์‹œ์—” ์•„์ง X์„ ์„ ๋น„๋กฏํ•œ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์˜ ์œ„ํ—˜์ด ์ œ๋Œ€๋กœ ์•Œ๋ ค์ง€์ง€ ์•Š์€ ๋ฐ๋‹ค๊ฐ€, X์„  ์ด๋ž€ ๋†ˆ์ด ์ผ์ข…์˜ "์œ ํ–‰"์ฒ˜๋Ÿผ ์–ธ๋ก ์— ๋ฒˆ์ง€๋ฉด์„œ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ํ˜„์ƒ์ด๋‹ค. ๋ฌผ๋ก  ํ•œ๋‘ ๋ฒˆ ์ฐ๋Š” ๊ฑธ๋กœ ๋…ธ์ถœ๋˜๋Š” ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋Ÿ‰์€ ๊ทธ๋ ‡๊ฒŒ๊นŒ์ง€ ๋งŽ์ง„ ์•Š์•˜์ง€๋งŒ, ๋Œ€์ค‘์˜ ๋ฌด์ง€๊ฐ€ ์ด๋Ÿฐ ์ผ๋„ ๊ฐ€์ ธ์˜ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ผ์ด๋‹ค. ์ด ํ˜„์ƒ์€ ๋งˆ๋ฆฌ ํ€ด๋ฆฌ์˜ ๋ผ๋“ ๋ฐœ๊ฒฌ ์‹œ์—๋„ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ๋‹ค.

ํ•œํŽธ X์„ ์ด ๋ชธ ์†์„ ์ฐ์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๋Š” ์„ฑ์งˆ์ด ์•Œ๋ชธ์„ ์ฐ์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์„ฑ์งˆ๋กœ ์ž˜๋ชป ์•Œ๋ ค์ง€๊ณ  ํ•œ ์ˆ  ๋” ๋–  ํ‰๋ฒ”ํ•œ ์นด๋ฉ”๋ผ๊ฐ€ ๊ทธ๋Ÿฐ ์„ฑ์งˆ์„ ๊ฐ€์ง„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์™€์ „๋˜๋ฉด์„œ ์• ๊ฟŽ์€ ์‚ฌ์ง„๊ฐ€๋“ค์ด ๊ณค์š•์„ ์น˜๋Ÿฌ์•ผ ํ•  ๋•Œ๋„ ์žˆ์—ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•œ๋‹ค. (...) ๋˜ ์ด๋ ‡๊ฒŒ X์„ ์— ์•Œ๋ชธ์ด ์ฐํžŒ๋‹ค๋Š” ์†Œ๋ฌธ์— ์ˆ™๋…€๋“ค์ด ๋‘๋ ค์›Œํ•˜์ž ์•ฝ์‚ญ๋น ๋ฅธ ์žฅ์‚ฌ๊พผ๋“ค์ด X์„ ์„ ์ฐจ๋‹จํ•ด์„œ ์•Œ๋ชธ์„ ๋ณผ ์ˆ˜ ์—†๋„๋ก ํ•œ๋‹ค๋Š” ๋‚ฉ ์„ฑ๋ถ„์ด ๋“  ํŒฌํ‹ฐ๋ฅผ ๋น„์‹ผ ๊ฐ’์— ํŒ”์•„์น˜์šฐ๊ธฐ๋„ ํ–ˆ๋‹ค.

X์„ ์„ ์˜๋Š” ๋ฌด๊ธฐ๋„ ์žˆ๋Š”๋ฐ, ์ธ๋„์ฃผ์˜์ ์ธ ๋น„๋‚œ์„ ๋ฐ›์„ ์šฐ๋ ค ๋•Œ๋ฌธ์— ์ธ์ฒด์— ์น˜๋ช…์ ์ธ ๋ฌด๊ธฐ๋“ค์€ ๊ฑฐ์˜ ์—†๊ณ  pain-gun ๊ณผ ๊ฐ™์ด ์ง์ ‘์ ์œผ๋กœ ํ†ต๊ฐ์„ ์ผ์œผ์ผœ์„œ ์ซ’์•„๋‚ด๋Š” ์šฉ๋„๋กœ ์ฃผ๋กœ ์“ฐ์ธ๋‹ค. ํ•˜์ง€๋งŒ ๊ทธ๋Ÿฐ ๊ฑฐ ์—†๋Š” ํ…Œ๋Ÿฌ๋ฆฌ์ŠคํŠธ๋“ค์ด ์—ฌ๋Ÿฌ ์ฐจ๋ก€ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์„ ์ด์šฉํ•œ ๋ฌด๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐœ๋ฐœํ•˜๋ ค๊ณ  ์‹œ๋„ํ•˜์˜€๋‹ค. ํŠนํžˆ X์„ ์€ ์ƒ์—…์ ์œผ๋กœ ๋งŽ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋‹ค๋ฅธ ๋ฐฉ์‚ฌ๋Šฅ ๋ฌผ์งˆ์— ๋น„ํ•ด ํ๊ธฐ๋ฌผ ์ž…์ˆ˜ ๋“ฑ์ด ์‰ฌ์šฐ๋ฏ€๋กœ ์—ฌ๋Ÿฌ ์ฐจ๋ก€ ๋ฒ”์ฃ„์— ์ด์šฉ๋˜๊ฑฐ๋‚˜ ์‹œ๋„ ์ค‘ ๋ถ™์žกํžˆ๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋ช‡ ๋…„๋งˆ๋‹ค ํ•œ ๋ฒˆ์”ฉ ์‚ฌ๋ง์„ ์ผ์œผํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ธ์ฒด์— ์น˜๋ช…์ ์ธ X์„  ์ด์„ ๋งŒ๋“ค๋‹ค๊ฐ€ ์žกํžŒ ์‚ฌ๋žŒ์˜ ๋‰ด์Šค๊ฐ€ ๋œจ๋ฉฐ, 2016๋…„ ๋ง์—๋Š” ๋ฌด์Šฌ๋ฆผ์— ๋Œ€ํ•œ ์ฆ์˜ค๋กœ ์ด์Šฌ๋žŒ ์‚ฌ์›์— ์ž‘๋™ ์‹œ 1~2์ฃผ ๋‚ด์— ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ์‚ฌ๋งํ•˜๊ฒŒ ๋˜๋Š” ์น˜๋ช…์ ์ธ X์„ ์„ ๋‚ด๋ฟœ๋Š” ์ผ์ข…์˜ ๋ฐฉ์‚ฌ๋Šฅ ํญํƒ„์„ ์ œ์กฐํ•˜๋‹ค๊ฐ€ ๋‹คํ–‰ํžˆ ์‚ฌ์ „์— ์žกํ˜€์„œ 30๋…„ํ˜•์„ ์„ ๊ณ  ๋ฐ›์€ ์‚ฌ๋žŒ๋„ ์žˆ๋‹ค. ์ด ๊ฒฝ์šฐ, ๊ณ„ํš์ด ๋ฏธ๋ฆฌ ๋ฐํ˜€์ง€์ง€ ์•Š์•˜๋”๋ผ๋ฉด ์‹ค์ œ๋กœ ์—„์ฒญ๋‚œ ์ธ๋ช…ํ”ผํ•ด๋ฅผ ๋ƒˆ์„ ๊ฒƒ์ด๋ผ๊ณ  ํ•œ๋‹ค. ์ฆ‰, ๋ฐฉ์‚ฌ๋Šฅ ์ด์œผ๋กœ ๋ฉ€๋ฆฌ์„œ ์•„๋ฌด๋„ ๋ชจ๋ฅด๊ฒŒ ๋ช‡ ์‹œ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ์กฐ์‚ฌํ•˜๋Š” ๊ฒƒ๋งŒ์œผ๋กœ๋„ ์‚ฌ๋žŒ์„ ๋ณ‘์— ๊ฑธ๋ฆฌ๊ฒŒ ํ•ด์„œ ์•”์‚ด์‹œํ‚ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ๊ฒฐ์ฝ” ๊ณต์ƒ๊ณผํ•™ ์†์˜ ์ด์•ผ๊ธฐ๋Š” ์•„๋‹ˆ๋ผ๋Š” ๊ฒƒ.

[1] 30 ร— 1015 Hz to 30 ร— 1018 Hz
[2] ์ฆ‰, ์—๋„ˆ์ง€์˜ ํฌ๊ธฐ.
[3] ์—‘์Šค์„ ์€ ์ฃผ๋กœ ์ „์ž๊ฐ€ ๊ฐ์†ํ•  ๋•Œ๋‚˜ ์›์ž ๋‚ด์˜ ์ „์ž๊ฐ€ ์ „์ž๊ป์งˆ ์‚ฌ์ด๋ฅผ ์˜ค๊ฐˆ ๋•Œ ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค. ๊ฐ๋งˆ์„ ์€ ์›์žํ•ต ๋‚ด์—์„œ ๋ถ•๊ดด๊ฐ€ ์ผ์–ด๋‚  ๋•Œ, ๋˜๋Š” ์ „์ž์™€ ์–‘์ „์ž๊ฐ€ ์ถฉ๋Œํ•˜๋ฉด์„œ ์†Œ๋ฉธํ•  ๋•Œ ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค. ์ „์ž-์–‘์ „์ž ์Œ์†Œ๋ฉธ ์‹œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๊ฐ๋งˆ์„ (511keV)์„ ์ด์šฉํ•œ ๊ฒƒ์ด ์–‘์ „์ž๋ฐฉ์ถœ๋‹จ์ธต์ดฌ์˜์ด๋‹ค.
[4] ๋ฌผ๋ฆฌ์ ์œผ๋กœ ๋˜‘๊ฐ™์€ ํ˜„์ƒ์ด ๊ฐ€์‹œ์ ์œผ๋กœ ์ „ํ˜€ ๋‹ฌ๋ผ๋ณด์ด๋Š” ์ผ์€ ํ”ํ•˜๋‹ค. ์˜ˆ๋ฅผ ๋“ค์–ด, ๋‰ดํ„ด์ด ๋งŒ์œ ์ธ๋ ฅ์˜ ๋ฒ•์น™์„ ๋ฐœ๊ฒฌํ•˜๊ธฐ ์ „๊นŒ์ง€ ์ธ๋ฅ˜๋Š” ์‚ฌ๊ณผ๊ฐ€ ๋•…์œผ๋กœ ๋–จ์–ด์ง€๊ฑฐ๋‚˜ ์ง€๊ตฌ๊ฐ€ ํƒœ์–‘ ์ฃผ์œ„๋ฅผ ๋„๋Š” ํ˜„์ƒ์ด ๋˜‘๊ฐ™์€ ํž˜ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์„ ์•Œ์ง€ ๋ชปํ–ˆ๋‹ค. ๋ฌผ๋ก  ์ง€๊ธˆ์€ ๋ˆ„๊ตฌ๋‚˜ ๋‹ค ๋‘˜ ๋‹ค ์ค‘๋ ฅ์˜ ์˜ํ–ฅ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋ž€ ๊ฑธ ์•Œ๊ณ  ์žˆ๋‹ค.
[5] ๋ฌผ๋ก  ์—๋„ˆ์ง€ ์˜์—ญ๋Œ€๋Š” ๋ถ„๋ช…ํžˆ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ๋‚œ๋‹ค.
[6] ๋‹ค๋งŒ, ํ˜„์žฌ์—๋„ X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์„ ๊ตฌ๋ณ„ํ•˜์—ฌ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์ด์œ ๋Š” X์„ ๊ณผ ๊ฐ๋งˆ์„ ์˜ ๋ฐฉ์ถœ๋ฉ”์ปค๋‹ˆ์ฆ˜์ด ๋‹ค๋ฅด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค. ์—๋„ˆ์ง€ ์˜์—ญ๋Œ€๋Š” X์„ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๊ด€์ „์••์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ฌ๋ผ์ง€๋ฏ€๋กœ ์‹ค์ œ๋กœ ํฐ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์—†์„ ์ˆ˜๋„ ์žˆ๋‹ค.
[7] ์‚ฌ์กฑ์œผ๋กœ ๋ถ€์ธ์€ ์ด ์‚ฌ์ง„์„ ๋ณด๊ณ  ์ž์‹ ์˜ ์ฃฝ์Œ์„ ์˜ˆ๊ณ ํ•˜๋Š” ์‚ฌ์ง„์œผ๋กœ ์ฐฉ๊ฐํ•˜๊ณ  ์ดํ›„ ์—ฐ๊ตฌ์‹ค์— ์–ผ์”ฌ๋„ ์•ˆ ํ–ˆ๋‹ค๋Š” ์ผํ™”๊ฐ€ ์ „ํ•ด์ง„๋‹ค.
[8] ๊ฐ€์†ํ•˜๋Š” ์ •๋„์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ค๋ฅธ ํŒŒ์žฅ๋Œ€์˜ ์ „์ž๊ธฐํŒŒ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•œ๋‹ค. X์„ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋Š” ๋งค์šฐ ๋น ๋ฅด๊ฒŒ ๊ฐ€์† ํ›„ ๊ธ‰๊ฐ์† ์‹œํ‚ค๋ฉด ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. ๋‹ค์Œ ์œ ํŠœ๋ฒ„๋Š” ํ•ด๋‹น ์›๋ฆฌ๋ฅผ ์ด์šฉํ•ด์„œ ํ‘๋ฐฑtv ์ง„๊ณต๊ด€์œผ๋กœ x์„ ์„ ๋งŒ๋“ ๋‹ค. ์˜์ƒ ์ฐธ์กฐ
[9] ๋…์ผ์–ด. ์œ„ํ‚ค๋ฐฑ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด ๋ธŒ๋ ˜์Šค์ŠˆํŠธ๋ž„๋ฃฝ์ด๋ผ ๋ฐœ์Œํ•œ๋‹ค๊ณ  ํ•œ๋‹ค. ์˜์–ด๋กœ ๋ฒˆ์—ญํ•˜๋ฉด "Braking Radiation", ์ฆ‰ ์ „์ž๊ฐ€ ์ •์ง€ํ•˜๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น›์„ ์˜๋ฏธํ•œ๋‹ค.
[10] ์ „๋ฌธ์šฉ์–ด๋กœ๋Š” ์—๋„ˆ์ง€ ์ŠคํŽ™ํŠธ๋Ÿผ
[11] ์ฒœ์กฐ๊ตญ์—์„œ ์ง์„ ํ˜• ์ž…์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ๋งŒ๋“ค์–ด ์“ฐ๋Š” ์ด์œ ๋Š” ๋‹จ์ง€ ๊ตญํ†  ์‚ฌ์ด์ฆˆ๊ฐ€ ํฌ๊ณ  ์•„๋ฆ„๋‹ค์›Œ์„œ๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ๋‹ค. CERN์—์„œ๋Š” ์–‘์„ฑ์ž๋‚˜ ์ด์˜จ์„ ์ด์šฉํ•œ ์—ฐ๊ตฌ์™€ ์‹คํ—˜์„, ์Šคํƒ ํฌ๋“œ๋Œ€์—์„œ๋Š” ์ „์ž์˜ ์ถฉ๋Œ์— ๊ด€๋ จ๋œ ์‹คํ—˜์ด๋‚˜ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค. ์ „์ž์˜ ๊ฐ€์†, ์ถฉ๋Œ์— ๊ด€ํ•œ ์‹คํ—˜, ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์œ„ํ•ด์„  ์ข‹๋“  ์‹ซ๋“  ์„ ํ˜• ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ์จ์•ผ ํ•œ๋‹ค. ์ž…์ž ๋ฌผ๋ฆฌํ•™๊ณ„์—์„œ ์–ด๋А ์ •๋„ ์ž„๋ฌด ๋ถ„๋‹ด์ด ์ด๋ค„์ง€๊ณ  ์žˆ๋Š” ์…ˆ์ด๋‹ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์‚ฌ์‹ค CERN์—๋„ ์„ ํ˜• ์ž…์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ๊ฐ€ ์žˆ๊ณ , ๊ทœ๋ชจ์˜ ์ฐจ์ด๋ฅผ ์ œํ•˜๋ฉด ์‚ฌ์‹ค ์„ ํ˜• ๊ฐ€์†๊ธฐ๋Š” ์„ธ์ƒ ์–ด๋””์—๋‚˜ ์žˆ๋‹ค. ๋‹น์‹ ์˜ ์ง‘์—๋„ ์žˆ์„ ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค.
[12] ๋‹จ์ˆœํ•œ ์–ธ์–ด์œ ํฌ๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ๋‹ค. ๊ฐ€์‹œ๊ด‘์„ ๋„ ์ „์ž๊ธฐํŒŒ์˜ ์ผ์ข….
[14] ์•„๋ฌด๋ฆฌ ์ž…์ž ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ผ๋„ ๊ฑด๋ฌผ ์ „์ฒด๋ฅผ ์™„๋ฒฝํ•œ ์›ํ˜•์œผ๋กœ ๋งŒ๋“ค ์ˆ˜๋Š” ์—†๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ์ง์„ ๋ถ€์™€ ํšŒ์ „๋ถ€๋ฅผ ๋‚˜๋ˆ„๊ฒŒ ๋œ๋‹ค. ์ด ์ง์„ ๋ถ€๋Š” ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ์—์„œ๋Š” ์“ฐ์ง€ ๋ชปํ•˜๋˜ ๋ถ€๋ถ„์ด์—ˆ๋‹ค.
[15] ๋ฌผ๋ก  2์„ธ๋Œ€์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” BM(Bending Magnet์˜ ์ค„์ž„๋ง)๋น”๋ผ์ธ๋„ ์กด์žฌํ•œ๋‹ค.
[16] ์Šคํƒ ํผ๋“œ ๋Œ€ํ•™๊ต์†Œ์† SLAC ๊ตญ๊ฐ€ ์—ฐ๊ตฌ์†Œ, LCLS
[17] ์ดํ™”ํ•™์—ฐ๊ตฌ์†Œ Spring-8 ์†Œ์†, SACLA
[18] ํฌํ•ญ๊ณต๊ณผ๋Œ€ํ•™๊ต
[19] ๋น” ์ž…์‚ฌ ๋ฐ ๋น”ํƒ€์ž„ ์ œ๊ณต
[20] ์ƒˆ๋กœ์šด 3์„ธ๋Œ€ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋ฅผ ๊ฑด์„คํ•˜๋Š” ๋ฐ์— ์ถ”๊ฒฝ ์˜ˆ์‚ฐ์ด ์•ฝ 3000~5000์–ต ์› ์ •๋„, 4์„ธ๋Œ€ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘ ๊ฐ€์†๊ธฐ๋Š” 1์กฐ ์›์ด ๋„˜๊ฒŒ ๋“ค์–ด๊ฐ„๋‹ค๋Š” ์ ์—์„œ(๋ฏธ์ฃผ, ์ผ๋ณธ ๊ฑด์„ค ๊ธฐ์ค€) ์ƒ๋‹นํžˆ ์ €๋ ดํ•˜๊ฒŒ(?) ๊ฑด์„คํ•œ ํŽธ์ธ๋ฐ, ์ด๋Š” ๊ฐ€์†๊ธฐ๊ฐ€ ๋“ค์–ด๊ฐˆ ๋ถ€์ง€๊ฐ€ ์ด๋ฏธ ํฌํ•ญ ๊ณต๋Œ€ ๋‚ด๋ถ€ ๋ถ€์ง€์ด๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๋•…๊ฐ’์„ ์•„๊ปด์„œ(...)๊ทธ๋ ‡๋‹ค.
[21] ๊ฐ€์†๋ถ€๊นŒ์ง€ ํ•ฉํ•ด์„œ ์ดํ•ฉ km๋‹จ์œ„๋กœ ๊ธธ๋‹ค.
[22] ์‚ฌ์‹ค ํŽ„์Šค ํ˜•ํƒœ๋กœ"๋งŒ" ๋งŒ๋“ค์–ด์ง„๋‹ค๋Š” ํ‘œํ˜„์ด ๋งž๋Š”๋‹ค.
[23] X์„  50/50 ๊ฑฐ์šธ๋“ฑ์„ ํ†ตํ•ด ๋น”์„ ๋‚˜๋ˆ ์„œ ๋‹ค๋ฅธ ์‹คํ—˜๋™๋„ ๊ฐ™์ด ์“ธ ์ˆ˜ ์žˆ๊ฒŒ ํ•˜๊ธฐ๋Š” ํ•˜์ง€๋งŒ, ๊ทธ๋ ‡๋‹ค๊ณ  ํ•ด๋„ ํ•˜๋‚˜์˜ ๊ฐ€์†๊ธฐ์— ์ตœ์†Œ 30๊ฐœ์˜ ์‹คํ—˜๋ถ€์—์„œ ๋งŽ๊ฒŒ๋Š” 50๊ฐœ ์ด์ƒ์˜ ์‹คํ—˜๋ถ€๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ์‹ฑํฌ๋กœํŠธ๋ก ์— ๋น„ํ•˜๋ฉด ํšจ์œจ์ด ๋งค์šฐ ๋‚˜์œ ๊ฒƒ์€ ์‚ฌ์‹ค์ด๋‹ค.
[24] ํฌํ•ญ๊ณต๋Œ€์— ์„ค์น˜๋  4์„ธ๋Œ€ ๋ฐฉ์‚ฌ๊ด‘๊ฐ€์†๊ธฐ ์˜ˆ์ƒ๋„
[25] ๊ธˆ์†, ๋ผˆ ๋“ฑ๋“ฑ
[26] ๊ณจ์ ˆ๋‹นํ•œ ์‚ฌ๋žŒ์€ ์น˜๋ฃŒ ๊ธฐ๊ฐ„์— ํ•œํ•ด 1์ฃผ์— ํ•œ ๋ฒˆ ์ •๋„.
[27] ํ•˜์ง€๋งŒ ํ•œ ๋ฒˆ์— ์‚ฌ์ง„์„ ๋ช‡ ๋ฐฑ ์žฅ ์ฐ์„ ์ผ์ด ์•„๋‹ˆ๋ฉด ๊ทธ๋Ÿฐ ์ผ ์—†๋‹ค. ์• ์ดˆ์— ์ดฌ์˜์—์„œ ๊ทธ๋ ‡๊ฒŒ ๋งŽ์€ ์‹œ๋ฒ„ํŠธ(๊ทธ๋ ˆ์ด)๋ฅผ ์˜์ง€ ์•Š๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค.